三、勻膠機性能指標(biāo)及特點：

1、該甩膠機采用美國*技術(shù)：
2、Laurell甩膠機采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計，這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方；
3、甩膠機真空Chuck經(jīng)精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調(diào)整墊，可保障主軸具有較高的精度。
4、智能型調(diào)節(jié)勻膠工作時間，1秒至99分59.9秒任意范圍，時間增加精度0.1秒；
5、650S 型甩膠機大致有兩個轉(zhuǎn)速范圍，主軸轉(zhuǎn)速范圍寬，加速度高。*階段，通過500~1000RPM的轉(zhuǎn)速，旋轉(zhuǎn)5~10秒鐘，使膠液得以平鋪開，而膠液厚度主要通過第二階段的速度變化來控制，一般轉(zhuǎn)速在1500RPM~6000RPM，旋轉(zhuǎn)時長從幾秒鐘到幾分鐘，如此既可以得到幾百個納米到數(shù)十個微米之間的均勻薄膜，也是可以無極變速的。根據(jù)旋涂的需要設(shè)定不同的轉(zhuǎn)速，對不同的材料進行均勻的涂膜。
6、高精度數(shù)碼控制器，美國Laurell甩膠機的數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達控制器，其設(shè)置點精度小于0.006%。通過PLC控制系統(tǒng)，運行干擾小，可靠性高。人機交互按鍵顯示操作，界面友好，更直觀便捷，用戶可靈活編制、儲存、調(diào)用和修改工藝參數(shù)。甩膠機可以設(shè)定多達20個程序段來存儲不同材料的制備過程，每個程序段都能設(shè)定51步速度改變，當(dāng)前參數(shù)具斷電保護功能。650S系列，除了對于轉(zhuǎn)速的精密控制以外（轉(zhuǎn)速范圍1~12000轉(zhuǎn)/分，分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，加速度可達80000RPM/S，低則可達1RPM/S）。MSC-650S型可以通過USB通訊接口連接電腦，以及隨機附帶的SPIN3000分析軟件進行功能多樣的可視化操作。對于每次實驗結(jié)果進行分析調(diào)試，并挑選出好的制備過程，所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過電腦輸出并予以保存，完成從單純旋轉(zhuǎn)機器到旋涂儀器的升級。
7、高精度甩膠機加速度和速度的穩(wěn)定性：標(biāo)準(zhǔn)速度范圍100-12,000 轉(zhuǎn)/分鐘（RPM）[分辨率：<0.5 轉(zhuǎn)/分鐘（RPM）可重復(fù)性：±0.5 轉(zhuǎn)/分鐘，經(jīng)美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準(zhǔn)！]
8、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運轉(zhuǎn)時噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
9、甩膠機腔體配備吹氮(N2)功能，或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調(diào)壓閥和節(jié)流閥實現(xiàn)調(diào)節(jié)，與配套真空泵一同使用。