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EMS 650/EMS 650T大樣品離子濺射鍍膜儀(樣本制備)

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  • 海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司
  • 2017-05-10 17:13:20
  • 北京市
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【簡單介紹】

EMS 650/EMS 650T大樣品離子濺射鍍膜儀(樣本制備)又稱三靶大樣品室離子濺射鍍膜儀,EMS 650配套裝有直徑60mm、厚度0.1mm的金靶(用戶可以選擇其它材質(zhì)的靶材);面板式控制,Z佳的人性化設(shè)計;濺射參數(shù)可預(yù)先設(shè)置,包括控制排氣的電磁閥(自動控制),可以獲得精確的可重復(fù)的鍍膜厚度;

【詳細(xì)說明】

EMS 650/EMS 650T大樣品離子濺射鍍膜儀(樣本制備)

又稱三靶大樣品室離子濺射鍍膜儀(樣本制備),EMS 650大樣品離子濺射鍍膜儀(樣本制備)配套裝有直徑60mm、厚度0.1mm的金靶(用戶可以選擇其它材質(zhì)的靶材);面板式控制,*的人性化設(shè)計;濺射參數(shù)可預(yù)先設(shè)置,包括控制排氣的電磁閥(自動控制),可以獲得精確的可重復(fù)的鍍膜厚度;濺射頭互鎖,EMS 650EMS 250鍍碳配件通用;EMS 650可控制獨立的真空泵。下圖示EMS 650。EMS 650T是在EMS 650基礎(chǔ)上加裝了一個功率為60L/秒的渦輪增壓泵,能夠獲得更高更潔凈的真空。

 

性能特征:

  • 全自動控制
  • 低能冷卻系統(tǒng)((功率是6W
  • 低電壓濺射(100V,DC;每分鐘溫度升高不到2°C
  • 鍍膜厚度精確(2nm金粒)
  • 精確的可重復(fù)性
  • 鍍膜厚度20nm200A(掃描電鏡)
  • 微電子控制
  • 三個靶臺同時濺射
  • 聚碳酸脂安全外殼

儀器參數(shù):

儀器尺寸

450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H)

工作腔室

硼硅酸鹽玻璃: 225mm(Dia.) x 125mm(H)

重量

24Kg

靶臺

3 x 60mm Dia.x0.1mm

旋轉(zhuǎn)樣品臺

155mm Dia. 距離靶臺40 to 50mm可調(diào)

真空范圍

ATM 1x10-2 mbar

鍍膜電流范圍

0-100mA

鍍膜速率

0-20nm/minute

濺射鍍膜時間

0-4 minutes

電源

230 volts 50Hz (zui大8 amp 包括泵)

維護(hù)

氬氣  通常 4 psi

真空泵(推薦)

整套真空泵軟管和油氣過濾器135L/Min

 

訂購信息: 

貨號

產(chǎn)品名稱

規(guī)格

91020

EMS 650 Sputter Coater complete with Targets
(3) x 60mm Dia. x 0.1mm thick fitted inclusive as standard

91020T

EMS 650T Sputter Coater

91025

Rotary Vacuum Pump

 

    
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