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廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
更新時(shí)間:2024-06-17 16:08:11瀏覽次數(shù):3107次
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該納米壓印機(jī)利用紫外曝光或者熱壓固化實(shí)現(xiàn)壓印圖案在壓印高分子膠層中的復(fù)制,并通過(guò)各項(xiàng)功能與過(guò)程參量的優(yōu)化與篩選,通過(guò)遠(yuǎn)程PLC控制系統(tǒng)結(jié)合觸摸屏單元,實(shí)現(xiàn)納米壓印全過(guò)程的實(shí)時(shí)監(jiān)控與全自動(dòng)化控制。
技術(shù)參數(shù):
YPL-NIL-SI400納米壓印系統(tǒng):
溫度范圍從室溫到250攝氏度;
壓力范圍從0到300個(gè)PSI(對(duì)于4英寸晶元);
紫外曝光系統(tǒng);
真空范圍從1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓到0.1帕;
水冷系統(tǒng);
樣品尺寸直徑zui大4英寸;
PLC遠(yuǎn)程控制,帶觸摸屏;
手動(dòng)裝載樣品和模板;
自帶機(jī)器控制軟件;
在軟件控制下可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)增加和釋放壓力;
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統(tǒng)的納米壓印機(jī)。
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