Novascan紫外臭氧清洗儀 返回列表頁

Novascan紫外臭氧清洗儀 PSD-UV系列

PSD系列產(chǎn)品是數(shù)字控制的臺式清洗設(shè)備，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設(shè)備配備一個帶反射罩的高強度UV格柵燈盤, 和可調(diào)節(jié)高度的樣品臺，用于優(yōu)化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統(tǒng)具有進出氣接口。該系統(tǒng)由一個方便的預(yù)設(shè)置控制器控制，非常容易操作。

•預(yù)設(shè)置的數(shù)字控制器
•方便簡單的兩按鍵操作                                                  

•自動工作：15.30.60.120分鐘
•工作進程可以在任何時候手工終止
•系統(tǒng)不能提供加熱盤選項
•經(jīng)濟實用的設(shè)計使得PSD系列成為受歡迎的選擇

•容易安裝和使用

•可編程數(shù)字控制器
•數(shù)字顯示倒計時
•輕松升級到熱盤選項
•可執(zhí)行暫停和終止指令
•內(nèi)部存儲器用于記錄之前的參數(shù)設(shè)置
—— 一個強大的系統(tǒng)，提供了增強的進程控制！

電 源：100.120.220.240VAC.50-60周期。
樣品高度：所有系統(tǒng)都配置可調(diào)節(jié)高度的樣品臺，調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，并帶位置鎖定，標準樣品臺尺寸為UV格柵燈大小或更大。
UV格柵燈：產(chǎn)生臭氧的低壓汞格柵燈，帶反射罩。燈管壽命大約為5000小時。
UV反射罩：UV反射罩一般比UV格柵燈大一英寸。比如4×4英寸燈管反射罩尺寸是5×5英寸。
樣品放置：打開清洗腔上蓋，露出樣品臺，允許360度裝入樣品。
安全裝置：當清洗腔打開時，系統(tǒng)安全鎖會關(guān)掉UV燈。
進出氣口：標準配置2個氣接口，可選更多。（PSD-UV3為選項）
真空反應(yīng)腔：選項客戶化定制，鋁或石英材料。

臭氧中和器：中和器和泵用于臭氧排除。（PSD和PSDP選項）

PSD系列產(chǎn)品通過產(chǎn)生185nm和254nm高強度UV光分解有機分子（污染物）。185nm的光可以將氧分子O2轉(zhuǎn)變成活性的O3臭氧分子。254nm的光同時激發(fā)表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短并且同時也被254nm光分解，樣品臺可以調(diào)節(jié)樣品到燈管的距離來優(yōu)化性能。PSD和PSDP分解有機污染物，然后形成CO2和H2O蒸氣，同時也將臭氧分子轉(zhuǎn)變成氧分子。

產(chǎn)品型號尺寸：

產(chǎn)品應(yīng)用：

基體材料：硅、砷化鎵、玻璃、石英、云母、藍寶石、金屬、陶瓷、聚合物、光阻

應(yīng)用范圍：

•AFM探針清洗/尖削

•半導體表面氧化和準備

•光學鏡片清洗

•改善表面潤濕性能

•提高油漆/涂料/膠水/粘合劑的附著力

•石英和陶瓷表面清洗

•薄膜沉積的準備

•紫外固化

•表面圖形化

•臭氧腐蝕