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激光直寫(xiě)光刻機(jī)microPREP™PRO系統(tǒng)是為了提供適合顯微結(jié)構(gòu)診斷和故障診斷需要的高效激光樣品制備而開(kāi)發(fā)的。因此，利用超短脈沖激光可以有效、經(jīng)濟(jì)地制備材料樣品，為其提供了最佳的樣品制備技術(shù)。

激光直寫(xiě)光刻機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

自由形式或盒銑削和線(xiàn)切割，快速進(jìn)入想要的地區(qū)

加載任何幾何圖形到系統(tǒng)中

使用旋轉(zhuǎn)工具為XRM和同步加速器準(zhǔn)備圓柱形樣品

在一次運(yùn)行中使用多個(gè)示例可以提高吞吐量

自動(dòng)化階段，以最快的速度找到想要的區(qū)域

Recipe-driven軟件使得樣品的制備更加快速和簡(jiǎn)單

用全景相機(jī)定位到想要的區(qū)域

通過(guò)使用超短脈沖激光，microPREP™PRO適合用于樣品制備，其主要優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)損傷小，功率密度高，目標(biāo)精度在微米級(jí)。因此，microPREP™PRO可用于金屬、半導(dǎo)體、陶瓷以及化合物和聚合物的激光切割和局部激光細(xì)化。

應(yīng)用：

激光切割和個(gè)別樣品制備

掃描電鏡和顯微分析

微觀力學(xué)樣品制備(dog-bones或其他幾何形狀)

透射電鏡的結(jié)構(gòu)平面內(nèi)和截面(基于microPREPXL-Chunk臺(tái))

X射線(xiàn)顯微鏡

Pre-shapedAPT樣品

TEM橫截面