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R-50-電阻率測試儀
  • R-50-電阻率測試儀
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貨物所在地：上海上海市

更新時間：2024-12-30 21:00:07

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Filmetrics R50 是KLA電阻測試家族的最新產(chǎn)品。R50電阻率測試儀是KLA超45年電阻測量技術(shù)地位之作。電阻測量和監(jiān)控對于任何使用導電薄膜的行業(yè)都至關(guān)重要，從半導體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。R50在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測均進行了優(yōu)化加強。

KLA薄膜電阻測量技術(shù)電阻率測試儀包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導電片和薄膜，跨越10個數(shù)量級范圍電阻率，包括：

半導體晶圓基板

玻璃基板

塑料（柔性）基材

PCB圖案特征

太陽能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、電阻率測試儀主要功能

l 技術(shù)規(guī)格

測量范圍：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

測量精度： +/- 1%；

重復度： 小于 0.2%；

樣品圖中無*的測量點位，自定義測量Recipe，可線性、矩形、

極坐標以及自定義等。

Model

Description

R50-4PP

四探針測試

自動XY移動臺-100mm*100mm

可實現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-EC

非接觸渦流測試

自動XY移動臺-100mm*100mm

可實現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-200-4PP

四探針測試

自動XY移動臺-200mm*200mm

可實現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping測量

R50-200-EC

非接觸渦流測試

自動XY移動臺-200mm*200mm

可實現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量

三、應用

支持廣泛的測量，包括但不限于以下各項：

金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導率、摻雜濃度等。



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