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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> ET200-日本Kosaka ET200臺(tái)階儀
ET200臺(tái)階儀
二次元表面解析，可測(cè)量段差
高精度、高分辨率和良好的再現(xiàn)性
FPD面板顯示，可測(cè)定微細(xì)表面形狀、段差、粗度等
低測(cè)定力，可測(cè)定軟質(zhì)材料
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | ET200 | |
| zui大樣品尺寸 | φ160x | |
| 樣品臺(tái) | 尺寸 | φ160 |
| 傾斜度 | ±2°（X,Y手動(dòng)） | |
| 承重 | | |
| 檢出器 | 觸針力 | 10μN-500μN（1mg-50mg） |
| 范圍 | 600μm（0.1nm分辨率） | |
| 驅(qū)動(dòng) | 直動(dòng)式（差動(dòng)變壓器） | |
| 觸針 | R2μm 頂角60° | |
| X軸 | zui大測(cè)長(zhǎng) | |
| 直線度 | 0.02μm/ | |
| 速度 | 0.005 | |
| 重復(fù)性 | ±5μm（定位） | |
| Y軸 | zui大測(cè)長(zhǎng) | |
| Z軸 | zui大測(cè)長(zhǎng) | |
| 放大倍數(shù) | 垂直 | 50-2000000 |
| 水平 | 1-10000 | |
| 監(jiān)控系統(tǒng) | 攝像裝置 | 1/3 inch CCD |
| 監(jiān)視裝置 | 視頻捕捉板 | |
| 移動(dòng)方法 | 手動(dòng) | |
| 輔助功能 | 教學(xué)、機(jī)動(dòng)傾斜、傾斜度分析、檢出器自動(dòng)停止功能等 | |
| 應(yīng)用 | 成像、臺(tái)階、粗糙度、波紋度和傾斜度 | |
| 重復(fù)性 | 1σ1nm | |
| 電源 | AC90-240V 50/60Hz 300VA | |
| 外觀尺寸 | W500xD440xH | |
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