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中級(jí)會(huì)員 | 第4年

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M150-美國(guó) Cascade M150探針臺(tái)
  • M150-美國(guó) Cascade M150探針臺(tái)
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貨物所在地:上海上海市

地: 美國(guó)

更新時(shí)間:2024-10-29 21:00:08

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Cascade Microtech 的 M150測(cè)量平臺(tái)是一款結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、高精確度、多功能、及高性價(jià)比的150mm基準(zhǔn)的探針臺(tái);采用了一種模塊化設(shè)計(jì),提供了眾多的配置可能性;M150 可提供三種預(yù)配置的探針臺(tái),均針對(duì)您的應(yīng)用及預(yù)算而優(yōu)化;您可以通過確定Z適合自己當(dāng)前需要的 M150 模塊來設(shè)計(jì)*的探針臺(tái),或?qū)ψ约含F(xiàn)用的 M150 進(jìn)行升級(jí)以滿足未來的測(cè)量需求。

 

  Cascade M150探針臺(tái)

 

  用于實(shí)現(xiàn)靈活性和不打任何折扣之精度的新標(biāo)準(zhǔn)

 

Cascade Microtech M150測(cè)量平臺(tái)是一款結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、高精確度、多功能、及高性價(jià)比的150mm基準(zhǔn)的探針臺(tái),解決了一系列的測(cè)量難題。該探針臺(tái)采用了一種模塊化設(shè)計(jì),提供了眾多的配置可能性,旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測(cè)量的需要。M150 可提供三種預(yù)配置的探針臺(tái),均針對(duì)您的應(yīng)用及預(yù)算而優(yōu)化。您可以通過確定自己當(dāng)前需要的 M150 模塊來設(shè)計(jì)*的探針臺(tái),或?qū)ψ约含F(xiàn)用的 M150 進(jìn)行升級(jí)以滿足未來的測(cè)量需求。

 

主要特點(diǎn)

1.      結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、多功能;

2.      平臺(tái)配置可滿足DC、RF和亞微米測(cè)量;

3.      *的模塊化設(shè)計(jì)可根據(jù)客戶的需要配置和升級(jí);

4.      量程大、可配探針配件;

 
標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)規(guī)格參數(shù):

 

 

基座

基本尺寸

含升高板的尺寸

面積

Z軸可移動(dòng)范圍

標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)

675mm x 675mm

825mm x 675mm

1960 cm2

5.5mm

多功能平臺(tái)

825mm x 675mm

847mm x 758mm

2700 cm2

 

 

 

X-Y-θ平臺(tái)

XY范圍

zui小步長(zhǎng)

θ范圍

晶圓范圍

真空運(yùn)行平臺(tái)

155mm x 155mm

3μm

+/- 60°

70mm

標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)

155mm x 155mm

2μm

+45°(CCW) , - 90°(CW)

250mm

快速運(yùn)行平臺(tái)

155mm x 155mm

1μm

+45°(CCW) , - 90°(CW)

275mm

 

 

DUT支架

卡盤

基底

平整度

三軸接頭

絕緣層

附加卡盤

150mm卡盤

150mm真空卡盤

晶圓,陶瓷

10μm

Yes

100GΩ

2個(gè)獨(dú)立的卡盤,且還有一個(gè)附加卡盤

PCB

150mm寬支架

PCB,移動(dòng)裝置

NA

NA

NA

NA

 

顯微鏡支架

移動(dòng)范圍(XY

Z方向

zui小步長(zhǎng)

臂式支架

150mm x 150mm

NA

NA

LAHS顯微鏡支架

150mm x 150mm

可選,zui大為100mm

2μm

 

 

 

應(yīng)用

*的應(yīng)用靈活性使得M150能滿足DCRF測(cè)量、器件和晶圓表征測(cè)試(DWC)、失效分析(FA)、亞微米探測(cè)、MEMS和光學(xué)工程測(cè)量;M150也能用作一個(gè)靈活的探頭卡,實(shí)現(xiàn)wafer級(jí)的可靠性應(yīng)用(WLR),能同時(shí)配備多達(dá)20個(gè)探針座。

 

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