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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> M150-美國(guó) Cascade M150探針臺(tái)
Cascade M150探針臺(tái)
用于實(shí)現(xiàn)靈活性和不打任何折扣之精度的新標(biāo)準(zhǔn)
Cascade Microtech 的 M150測(cè)量平臺(tái)是一款結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、高精確度、多功能、及高性價(jià)比的
主要特點(diǎn)
1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、多功能;
2. 平臺(tái)配置可滿足DC、RF和亞微米測(cè)量;
3. *的模塊化設(shè)計(jì)可根據(jù)客戶的需要配置和升級(jí);
4. 量程大、可配探針配件;
標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)規(guī)格參數(shù):
基座 | 基本尺寸 | 含升高板的尺寸 | 面積 | Z軸可移動(dòng)范圍 |
標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) | | | | |
多功能平臺(tái) | | | | |
X-Y-θ平臺(tái) | XY范圍 | zui小步長(zhǎng) | θ范圍 | 晶圓范圍 |
真空運(yùn)行平臺(tái) | | 3μm | +/- 60° | |
標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) | | 2μm | +45°(CCW) , - 90°(CW) | |
快速運(yùn)行平臺(tái) | | 1μm | +45°(CCW) , - 90°(CW) | |
DUT支架 卡盤 基底 平整度 三軸接頭 絕緣層 附加卡盤 晶圓,陶瓷 <10μm Yes > 2個(gè)獨(dú)立的卡盤,且還有一個(gè)附加卡盤 PCB PCB,移動(dòng)裝置 NA NA NA NA
顯微鏡支架 移動(dòng)范圍(XY) Z方向 zui小步長(zhǎng) 臂式支架 > NA NA LAHS顯微鏡支架 可選,zui大為 2μm
應(yīng)用
*的應(yīng)用靈活性使得M150能滿足DC和RF測(cè)量、器件和晶圓表征測(cè)試(DWC)、失效分析(FA)、亞微米探測(cè)、MEMS和光學(xué)工程測(cè)量;M150也能用作一個(gè)靈活的探頭卡,實(shí)現(xiàn)wafer級(jí)的可靠性應(yīng)用(WLR),能同時(shí)配備多達(dá)20個(gè)探針座。
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