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納米壓印的技術(shù)與工藝特點(diǎn)，*性地設(shè)計(jì)和制備工作于低真空環(huán)境下，結(jié)合正負(fù)壓可控調(diào)節(jié)并利用壓縮空氣作為壓印驅(qū)動力的，通過壓力傳導(dǎo)裝置、緩沖與勻壓、壓力調(diào)節(jié)控制裝置等手段實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)可靠可控的壓印過程，借助于多種靈活的自動調(diào)節(jié)裝置的巧妙設(shè)計(jì)與運(yùn)用，實(shí)現(xiàn)壓印中的自動找平調(diào)控，以保證模板納米圖案均勻精確的大面積復(fù)制轉(zhuǎn)移。

主要特點(diǎn)：

該納米壓印機(jī)利用紫外曝光或者熱壓固化實(shí)現(xiàn)壓印圖案在壓印高分子膠層中的復(fù)制，并通過各項(xiàng)功能與過程參量的優(yōu)化與篩選，通過遠(yuǎn)程PLC控制系統(tǒng)結(jié)合觸摸屏單元，實(shí)現(xiàn)納米壓印全過程的實(shí)時監(jiān)控與全自動化控制。

技術(shù)參數(shù)：

YPL-NIL-SI400納米壓印系統(tǒng)：

溫度范圍從室溫到250攝氏度；
壓力范圍從0到300個PSI（對于4英寸晶元）；
紫外曝光系統(tǒng)；
真空范圍從1個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓到0.1帕；
水冷系統(tǒng)；
樣品尺寸直徑zui大4英寸；
PLC遠(yuǎn)程控制，帶觸摸屏；
手動裝載樣品和模板；
自帶機(jī)器控制軟件；
在軟件控制下可實(shí)現(xiàn)自動增加和釋放壓力；
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統(tǒng)的納米壓印機(jī)。

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