美國(guó)Filmetrics測(cè)量?jī)x上海一級(jí)代理
Filmetrics F20便攜式膜厚測(cè)試儀
Filmetrics簡(jiǎn)介
經(jīng)濟(jì)有效的Filmetrics薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng),測(cè)量薄膜厚度僅需幾秒鐘。
Filmetrics 膜厚測(cè)試儀產(chǎn)品輕點(diǎn)鼠標(biāo)就能測(cè)量1納米到13毫米的薄膜厚度。幾乎所有的材料都可以被測(cè)量。直觀的設(shè)計(jì)意味著您能在幾分鐘內(nèi)完成*個(gè)薄膜厚度測(cè)量!
1.只需要運(yùn)行基于Windows的軟件,連接Filmetrics設(shè)備,然后,開始測(cè)量。
2.方便地存儲(chǔ)或輸出詳細(xì)測(cè)量資料。
3.快速地將我們的厚度測(cè)量系統(tǒng)與其它系統(tǒng)通過(guò).軟件整合。
每秒兩個(gè)點(diǎn)薄膜測(cè)繪F20 薄膜厚度的測(cè)量系統(tǒng)
測(cè)量反射率和透射率
測(cè)量光斑小至1微米(μm)
每秒兩個(gè)點(diǎn)薄膜測(cè)繪
美國(guó)Filmetrics公司、美國(guó)Filmetrics授權(quán)總代理、美國(guó)Filmetrics杭州辦事處、美國(guó)Filmetrics測(cè)量?jī)x有現(xiàn)貨、美國(guó)Filmetrics工廠、美國(guó)Filmetrics在中國(guó)、美國(guó)Filmetrics價(jià)格好、美國(guó)Filmetrics*
自動(dòng)晶圓處理系統(tǒng)
Filmetrics F20產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
1 有五種不同波長(zhǎng)選擇(波長(zhǎng)范圍從紫外220nm至近紅外1700nm);
2 zui大樣品薄膜厚度的測(cè)量范圍是:3nm ~ 25um;
3 精度為好于0.1nm。
產(chǎn)品特性:
1 、操作簡(jiǎn)單、使用方便;
2 、測(cè)量快速、準(zhǔn)確;
3 、體積小、重量輕;
4 、價(jià)格便宜。
Filmetrics F20產(chǎn)品應(yīng)用:
1 、半導(dǎo)體行業(yè): 光阻、氧化物、氮化物;
2 、LCD 行業(yè): 液晶盒間隙厚度、 Polyimides;用f20來(lái)測(cè)量透明的藍(lán)寶石上的光刻膠,ito,多層氧化硅氧化鈦等薄膜厚度,該機(jī)操作簡(jiǎn)易,毫秒間就能測(cè)量出準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。
3 、光電鍍膜應(yīng)用: 硬化膜、抗反射膜、濾波片。
Filmetrics F20的技術(shù)
我們通過(guò)分析光如何從薄膜反射來(lái)測(cè)量薄膜厚度。通過(guò)分析肉眼看不見(jiàn)的光譜我們能測(cè)量幾乎所有超過(guò)100原子厚度的非金屬薄膜。因?yàn)椴簧婕叭魏我苿?dòng)設(shè)備,幾秒鐘之內(nèi)就能測(cè)出:薄膜厚度,折射率,甚至粗燥度!
其可測(cè)量薄膜厚度在1nm到1mm之間,測(cè)量精度高達(dá)1埃,測(cè)量穩(wěn)定性高達(dá)0.7埃,測(cè)量時(shí)間只需一到二秒, 并有手動(dòng)及自動(dòng)機(jī)型可選??蓱?yīng)用領(lǐng)域包括:生物醫(yī)學(xué)(Biomedical), 液晶顯示(Displays), 硬涂層(Hard coats), 金屬膜(Metal), 眼鏡涂層(Ophthalmic) , 聚對(duì)二甲笨(Parylene), 電路板(PCBs&PWBs), 多孔硅(Porous Silicon), 光阻材料(Thick Resist),半導(dǎo)體材料(Semiconductors) , 太陽(yáng)光伏(Solar photovoltaics), 真空鍍層(Vacuum Coatings), 圈筒檢查(Web inspection applications)等。
美國(guó)Filmetrics測(cè)量?jī)x上海一級(jí)代理
通過(guò)Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x反射式光譜測(cè)量技術(shù),zui多4層透明薄膜厚度、 n、k值及粗糙度能在數(shù)秒鐘測(cè)得。其應(yīng)用廣泛,例如 :
半導(dǎo)體工業(yè) : 光阻、氧化物、氮化物。
LCD工業(yè) : 間距 (cell gaps),ito電極、polyimide 保護(hù)膜。
光電鍍膜應(yīng)用 : 硬化鍍膜、抗反射鍍膜、過(guò)濾片。
極易操作、快速、準(zhǔn)確、機(jī)身輕巧及價(jià)格便宜為其主要優(yōu)點(diǎn),F(xiàn)ilmetrics提供以下型號(hào)以供選擇:
F20 : 這簡(jiǎn)單入門型號(hào)有三種不同波長(zhǎng)選擇(由220nm紫外線區(qū) 至1700nm近紅外線區(qū))為任意攜帶型,可以實(shí)現(xiàn)反射、膜厚、n、k值測(cè)量。
F30:這型號(hào)可安裝在任何真空鍍膜機(jī)腔體外的窗口。可實(shí)時(shí)監(jiān)控長(zhǎng)晶速度、實(shí)時(shí)提供膜厚、n、k值。并可切定某一波長(zhǎng)或固定測(cè)量時(shí)間間距。更可加裝至三個(gè)探頭,同時(shí)測(cè)量三個(gè)樣品,具紫外線區(qū)或標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)可供選擇。
F40:這型號(hào)安裝在任何顯微鏡外,可提供zui小5um光點(diǎn)(100倍放大倍數(shù))來(lái)測(cè)量微小樣品。
F50:這型號(hào)配備全自動(dòng)XY工作臺(tái),由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通過(guò)快速掃瞄功能,可取得整片樣品厚度分布情況(mapping)。
F70:僅通過(guò)在F20基本平臺(tái)上增加鏡頭,使用Filmetrics的顏色編碼厚度測(cè)量法(CTM),把設(shè)備的測(cè)量范圍極大的拓展至3.5mm。
F10-RT:在F20實(shí)現(xiàn)反射率跟穿透率的同時(shí)測(cè)量,特殊光源設(shè)計(jì)特別適用于透明基底樣品的測(cè)量。
PARTS:在垂直入射光源基礎(chǔ)上增加70?光源,特別適用于超薄膜層厚度和n、k值測(cè)量。
高級(jí)膜厚測(cè)量?jī)x系統(tǒng)F20
使用F20高級(jí)分光計(jì)系統(tǒng)可以簡(jiǎn)便快速的測(cè)量厚度和光學(xué)參數(shù)(n和k)。您可以在幾秒鐘內(nèi)通過(guò)薄膜上下面的反射比的頻譜分析得到厚度、折射率和消光系數(shù)。任何具備基本電腦技術(shù)的人都能在幾分鐘內(nèi)將整個(gè)桌面系統(tǒng)組裝起來(lái)。
F20包括所有測(cè)量需要的部件:分光計(jì)、光源、光纖導(dǎo)線、鏡頭集合和Windows下運(yùn)行的軟件。您需要的只是接上您的電腦。
膜層實(shí)例
Filmetrics光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的資料
其可測(cè)量薄膜厚度在1nm到1mm之間,測(cè)量精度高達(dá)1埃,測(cè)量穩(wěn)定性高達(dá)0.7埃,測(cè)量時(shí)間只需一到二秒, 并有手動(dòng)及自動(dòng)機(jī)型可選。可應(yīng)用領(lǐng)域包括:生物醫(yī)學(xué)(Biomedical), 液晶顯示(Displays), 硬涂層(Hard coats), 金屬膜(Metal), 眼鏡涂層(Ophthalmic) , 聚對(duì)二甲笨(Parylene), 電路板(PCBs&PWBs), 多孔硅(Porous Silicon), 光阻材料(Thick Resist),半導(dǎo)體材料(Semiconductors) , 太陽(yáng)光伏(Solar photovoltaics), 真空鍍層(Vacuum Coatings), 圈筒檢查(Web inspection applications)等。
通過(guò)Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x反射式光譜測(cè)量技術(shù),zui多4層透明薄膜厚度、 n、k值及粗糙度能在數(shù)秒鐘測(cè)得。其應(yīng)用廣泛,例如 :
半導(dǎo)體工業(yè) : 光阻、氧化物、氮化物。
LCD工業(yè) : 間距 (cell gaps),ito電極、polyimide 保護(hù)膜。
光電鍍膜應(yīng)用 : 硬化鍍膜、抗反射鍍膜、過(guò)濾片。
極易操作、快速、準(zhǔn)確、機(jī)身輕巧及價(jià)格便宜為其主要優(yōu)點(diǎn),F(xiàn)ilmetrics提供以下型號(hào)以供選擇:
F20 : 這簡(jiǎn)單入門型號(hào)有三種不同波長(zhǎng)選擇(由220nm紫外線區(qū) 至1700nm近紅外線區(qū))為任意攜帶型,可以實(shí)現(xiàn)反射、膜厚、n、k值測(cè)量。
F30:這型號(hào)可安裝在任何真空鍍膜機(jī)腔體外的窗口。可實(shí)時(shí)監(jiān)控長(zhǎng)晶速度、實(shí)時(shí)提供膜厚、n、k值。并可切定某一波長(zhǎng)或固定測(cè)量時(shí)間間距。更可加裝至三個(gè)探頭,同時(shí)測(cè)量三個(gè)樣品,具紫外線區(qū)或標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)可供選擇。
F40:這型號(hào)安裝在任何顯微鏡外,可提供zui小5um光點(diǎn)(100倍放大倍數(shù))來(lái)測(cè)量微小樣品。
F50:這型號(hào)配備全自動(dòng)XY工作臺(tái),由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通過(guò)快速掃瞄功能,可取得整片樣品厚度分布情況(mapping)。
F70:僅通過(guò)在F20基本平臺(tái)上增加鏡頭,使用Filmetrics的顏色編碼厚度測(cè)量法(CTM),把設(shè)備的測(cè)量范圍極大的拓展至3.5mm。
F10-RT:在F20實(shí)現(xiàn)反射率跟穿透率的同時(shí)測(cè)量,特殊光源設(shè)計(jì)特別適用于透明基底樣品的測(cè)量。
PARTS:在垂直入射光源基礎(chǔ)上增加70o光源,特別適用于超薄膜層厚度和n、k值測(cè)量。
高級(jí)膜厚測(cè)量?jī)x系統(tǒng)F20
使用F20高級(jí)分光計(jì)系統(tǒng)可以簡(jiǎn)便快速的測(cè)量厚度和光學(xué)參數(shù)(n和k)。您可以在幾秒鐘內(nèi)通過(guò)薄膜上下面的反射比的頻譜分析得到厚度、折射率和消光系數(shù)。任何具備基本電腦技術(shù)的人都能在幾分鐘內(nèi)將整個(gè)桌面系統(tǒng)組裝起來(lái)。
F20包括所有測(cè)量需要的部件:分光計(jì)、光源、光纖導(dǎo)線、鏡頭集合和Windows下運(yùn)行的軟件。您需要的只是接上您的電腦。
膜層實(shí)例
幾乎任何光滑、半透明、低吸收的膜都能測(cè)。包括:
sio2(二氧化硅) sinx(氮化硅) dlc(類金剛石碳)
photoresist(光刻膠) polyer layers(高分子聚合物層) polymide(聚酰亞胺)
polysilicon(多晶硅) amorphous silicon(非晶硅)
基底實(shí)例:
對(duì)于厚度測(cè)量,大多數(shù)情況下所要求的只是一塊光滑、反射的基底。對(duì)于光學(xué)常數(shù)測(cè)量,需要一塊平整的鏡面反射基底;如果基底是透明的,基底背面需要進(jìn)行處理使之不能反射。
包括:
silicon(硅) glass(玻璃) aluminum(鋁)
gaas(砷化鎵) steel(鋼) polycarbonate(聚碳酸脂)
polymer films(高分子聚合物膜)
應(yīng)用
半導(dǎo)體制造 | 液晶顯示器 | 光學(xué)鍍膜 |
photoresist光刻膠 oxides氧化物 nitrides氮化物 | cell gaps液晶間隙 polyimide聚酰亞胺 ito納米銦錫金屬氧化物 | hardness coatings硬鍍膜 anti-reflection coatings增透鍍膜 filters濾光 |
f20 使用高級(jí)仿真活動(dòng)來(lái)分析光譜反射率數(shù)據(jù)。
標(biāo)準(zhǔn)配置和規(guī)格
| F20-UV | F20 | F20-NIR | F20-EXR |
只測(cè)試厚度 | 1nm ~ 40μm | 15nm ~ 100μm | 100nm ~ 250μm | 15nm ~ 250μm |
測(cè)試厚度和n&k值 | 50nm and up | 100nm and up | 300nm and up | 100nm and up |
波長(zhǎng)范圍 | 200-1100nm | 380-1100nm | 950-1700nm | 380-1700nm |
準(zhǔn)確度 | 大于 0.4% 或 2nm |
精度 | 1A | 2A | 1A |
穩(wěn)定性 | 0.7A | 1.2A | 0.7A |
光斑大小 | 20μm至1.5mm可選 |
樣品大小 | 1mm至300mm 及更大 |
探測(cè)器類型 | 1250-元素硅陣列 | 512-元素 砷化銦鎵 | 1000-元素 硅 & 512-砷化銦鎵陣列 |
光源 | 鎢鹵素?zé)?,氚?/p> |
電腦要求 | 60mb 硬盤空間 50mb 空閑內(nèi)存 usb接口 |
電源要求 | 100-240 vac, 50-60 hz, 0.3-0.1 a |
選配以下鏡頭,就可在F20的基礎(chǔ)上升級(jí)為新一代的F70膜厚測(cè)量?jī)x。
鏡頭配件 | 厚度范圍 (Index=1.5) | 精度 | 光斑大小 |
UPG-F70-SR-KIT | 15 nm-50 μm | 0.1 nm | 標(biāo)配1.5 mm (可選配下至20 μm) |
LA-CTM-VIS-1mm | 50 μm-1.5 mm | 0.15 μm | 5 μm |
LA-CTM-VIS-2.4mm | 150 μm-3.5 mm | 0.1 μm | 10 μm |
產(chǎn)品應(yīng)用,在可測(cè)樣品基底上有了極大的飛躍:
●幾乎所有材料表面上的鍍膜都可以測(cè)量,即使是藥片,木材或紙張等粗糙的非透明基底。
●玻璃或塑料的板材、管道和容器。
●光學(xué)鏡頭和眼科鏡片。
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