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參考價(jià)	面議

CVD、PECVD設(shè)備

CVD管式爐

PECVD管式爐

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動(dòng)管式爐，爐管為Φ50×1400mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器Z高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個(gè)爐體可在滑軌上滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華，及薄膜沉積。通過(guò)爐體的滑動(dòng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品快速加熱，Z大升溫速率為100℃/min.同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來(lái)搭建TCVD系統(tǒng)。

詳細(xì)介紹

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動(dòng)管式爐，爐管為Φ50×1400mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器zui高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個(gè)爐體可在滑軌上滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華，及薄膜沉積。通過(guò)爐體的滑動(dòng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品快速加熱，zui大升溫速率為100℃/min.同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來(lái)搭建TCVD系統(tǒng)。

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

兩個(gè)爐體在一個(gè)滑動(dòng)軌道上，爐體zui高工作溫度1200℃
每個(gè)爐體加熱區(qū)為200mm,恒溫區(qū)為60mm
一個(gè)滑動(dòng)軌道安裝在兩爐體底部，可手動(dòng)推動(dòng)爐體滑動(dòng)
儀器中配有不銹鋼密封法蘭

總功率

2.5KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, （需要20A的空氣開(kāi)關(guān)）

zui高工作溫度

1200℃

連續(xù)工作溫度

1100℃

加熱&冷卻速率

加熱速率:

15°C/sec (RT - 150°C);

10°C/sec (150°C - 250°C);

7°C/sec (250°C - 350°C);

4°C/sec (350°C - 500°C);

3°C/sec (350°C - 550°C);

  2°C/sec (550°C - 650°C);
  1°C/sec (650°C - 800°C);
  0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷卻速率:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);

注意:

zui大加熱和冷卻速率是通過(guò)爐體滑動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的，將爐體加熱到目標(biāo)溫度，然后滑動(dòng)爐體到樣品位置來(lái)實(shí)現(xiàn)快速加熱。對(duì)樣品加熱后，滑動(dòng)爐體，使樣品暴露在加熱區(qū)外，來(lái)實(shí)現(xiàn)快速冷卻

加熱區(qū)長(zhǎng)度

每個(gè)爐體的加熱區(qū)為200mm

恒溫區(qū)

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金

爐管

高純石英管
尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

溫度控制系統(tǒng)

兩個(gè)爐體都采用PID方式來(lái)調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序。
控溫儀表操作視頻
設(shè)置有超溫和斷熱偶報(bào)警
包括2個(gè)K型熱電偶（已安裝在爐體上）
可選:可選擇控制模塊MTS-02，可使用電腦來(lái)控制爐體的升降溫
（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）

真空法蘭

儀器中包含一對(duì)不銹鋼密封法蘭，法蘭上安裝有機(jī)械壓力表
可選購(gòu)KF25接口的法蘭（提高抽氣速率)，數(shù)顯真空計(jì)

滑軌長(zhǎng)度

1200mm

真空度

10E-5 torr（采用分子泵）
10E-2 torr（采用機(jī)械泵）
可在本公司選購(gòu)真空泵

可選

可選擇電動(dòng)滑軌，更好的控制快速升降溫速率
1-9通道質(zhì)量流量計(jì)（MFC）控制的供氣系統(tǒng)
100W-500W的射頻等離子源
這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強(qiáng)的TCVD系統(tǒng)

尺寸

1500 x 380 x 620 mm（爐體＋滑軌）

凈重

約80kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、密封圈和加熱元件）

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證
所有電器元件（輸入電壓>24V）都通過(guò)了UL/MET/CSA認(rèn)證
本公司保證此設(shè)備通過(guò)TUV(UL61010）或CSA認(rèn)證（需額外出認(rèn)證費(fèi)用）

使用注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加安全
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)