北京恒奧德儀器儀表有限公司
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質(zhì)量量控制器

時間:2012-7-21閱讀:670
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HAD-D07-7B型 質(zhì)量量控制器

儀器簡介:

質(zhì)量量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量量行地測量和控制。廣泛用于電子設(shè)備、真空鍍膜、 石油化、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。



參數(shù):
 

 

滿量程量范圍(N2)

5SCCM~10SLM

控制范圍

2~100%F.S.

閥類型(及閥初始狀態(tài))

電磁調(diào)節(jié)閥(常閉)

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S.

線性

±0.5~1.5%F.S.

重復(fù)度

±0.2%F.S.

響應(yīng)時間

≤7sec

作溫度范圍

5~45℃

作壓差

0.1~0.5MPa

耐壓

3MPa

漏氣率

1×10-8atm.cc/sec He

密封材料

氟橡膠(或氯丁橡膠)

電插頭形式

DB15 pin(Female)

接頭選擇

VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/4”或φ6、φ3

重量

1.1Kg

 

 


www.51658042.com  

 


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