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目錄:科睿設備有限公司>>半導體材料表征>> Full Deposition PSL Wafer校準晶圓標準品-半導體表征

校準晶圓標準品-半導體表征
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參考價 100000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
100000
≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 Full Deposition PSL Wafer
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時間:2025-02-27 16:26:20瀏覽次數(shù):3665評價

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校準晶圓標準品-半導體表征
污染晶圓標準品、校準晶圓標準品和二氧化硅顆粒晶圓標準品使用顆粒沉積系統(tǒng)生產(chǎn),該系統(tǒng)將首先使用差分遷移率分析儀(DMA)分析PSL尺寸峰或二氧化硅尺寸峰。DMA是一種高精度顆粒掃描工具,結(jié)合凝聚態(tài)粒子計數(shù)器和計算機控制,基于NIST可追溯粒徑校準分離出高精度粒徑峰。一旦尺寸峰得到驗證,粒度流就被引導到主硅、晶圓標準表面。顆粒在沉積在晶圓表面上之前被計數(shù),在晶圓上全部沉

校準晶圓標準品-半導體表征

校準晶圓標準

污染晶圓標準品、校準晶圓標準品和二氧化硅顆粒晶圓標準品使用顆粒沉積系統(tǒng)生產(chǎn),該系統(tǒng)將首先使用差分遷移率分析儀(DMA)分析PSL尺寸峰或二氧化硅尺寸峰。DMA是一種高精度顆粒掃描工具,結(jié)合凝聚態(tài)粒子計數(shù)器和計算機控制,基于NIST可追溯粒徑校準分離出高精度粒徑峰。一旦尺寸峰得到驗證,粒度流就被引導到主硅、晶圓標準表面。顆粒在沉積在晶圓表面上之前被計數(shù),通常是在晶圓上全部沉積?;蛘?,可以在晶圓周圍的特定位置沉積多達 8 個粒徑作為點沉積。晶圓標準品為KLA-Tencor Surfscan SP1、KLA-Tencor Surfscan SP2、KLA-Tencor Surfscan SP3、KLA-Tencor Surfscan SP5、Surfscan SPx、Tencor 6420、Tencor 6220、Tencor 6200、ADE、Hitachi和Topcon SSIS工具和晶圓檢測系統(tǒng)的尺寸校準提供高精度的尺寸峰。


差分遷移率分析儀,DMA電壓掃描,二氧化硅尺寸峰,100nm


PSL球體尺寸標準品和二氧化硅尺寸標準液由差分遷移率分析儀掃描,以確定真正的尺寸峰。一旦分析了尺寸峰,就可以將晶圓標準品沉積為全沉積或點沉積,或多點沉積晶圓標準品。掃描上方100納米(0.1微米)處的二氧化硅尺寸峰,DMA在101nm處檢測到真正的二氧化硅尺寸峰。

全沉積或點沉積晶圓標準品顆粒沉積系統(tǒng)提供高精度的PSL校準晶圓標準品和二氧化硅污染晶圓標準品。

我們的 2300 XP1 顆粒沉積系統(tǒng)提供自動顆粒沉積控制,以生成您的 PSL 晶圓標準品和二氧化硅晶圓標準品。

校準晶圓標準品-半導體表征-應用

  • 高分辨率、NIST 可追溯的 DMA(差分遷移率分析儀)選型和分類超過了新的 SEMI 標準 M52、M53 和 M58 協(xié)議,以實現(xiàn) PSL 尺寸精度和尺寸分布寬度

  • 在 60nm、100nm、269nm 和 900nm 處自動校準沉積尺寸

  • 先進的差動率分析儀(DMA)技術(shù),具有自動溫度和壓力補償功能,可提高系統(tǒng)穩(wěn)定性和測量精度

  • 自動沉積工藝可在一個晶圓上提供多個點沉積

  • 整個晶圓上的完整晶圓沉積;或在晶圓上的任何位置進行點沉積

  • 高靈敏度允許PSL球和二氧化硅顆粒沉積從20nm到2um

  • 沉積二氧化硅顆粒,用于使用高功率激光掃描校準晶圓檢測系統(tǒng)

  • 存放PSL球體,以便使用低功率激光掃描校準晶圓檢測系統(tǒng)

將PSL球體和二氧化硅顆粒沉積在主要硅晶圓標準品或150mm光掩模上。

PSL 校準晶圓標準、二氧化硅污染晶圓標準

顆粒沉積工具用于在晶圓標準品上沉積非常精確的PSL尺寸標準品或二氧化硅粒徑標準品,以校準各種晶圓檢測系統(tǒng)。

  • PSL校準晶圓標準,用于校準使用低功率激光器掃描晶圓的晶圓檢測系統(tǒng)。

  • 二氧化硅污染晶圓標準,用于校準使用高功率激光器掃描晶圓的晶圓檢測系統(tǒng)。

校準掩模標準或二氧化硅掩模標準

我們的 2300 XP1 在 75mm 至 300mm 晶圓直徑的硼硅酸鹽掩模和優(yōu)質(zhì)硅上沉積 NIST 可追溯、經(jīng)過認證的掩模標準。

  • 125mm 和 150mm 模板上的 PSL 校準模板標準

  • 150mm口罩上的二氧化硅污染標準

  • 75mm至300mm校準晶圓標準

  • 75mm至300mm二氧化硅污染晶圓標準



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