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派克700系列散裝設計閥（帶高流量波紋管）在超高純度（UHP）氣體分配和批量輸送系統中提供的性能和可靠性。
產品簡介
詳細介紹
- 700系列*的低重量設計降低了與市場上相似尺寸和流量能力閥門相比的安裝成本。它具有優(yōu)異的泄漏完整性和氣體容納能力，是用于對清潔度有嚴苛要求工藝的理想選擇，包括微電子加工制造業(yè)。
700系列散裝設計閥比傳統的球閥設計具有許多優(yōu)點，包括zui小化的顆粒產生和較低的內部和外部泄漏率。這減少了工藝氣體污染，是對晶片/半導體生產至關重要的。
閥門的構造材料提高閥門的耐久性和耐工藝氣體腐蝕性。本體由電拋光處理的316L不銹鋼制成。 1.5英寸及以上的閥門采用Inconel 625合金的波紋管，這提供了的強度和耐腐蝕性，所供的700系列，在工作壓力高達375 psig時具有zui長的循環(huán)使用壽命。
700系列閥門是在100級潔凈室內制作而成的。通過使用質譜儀，100％的閥門都 進行了內部及閥座部分氦氣泄漏測試，以確保UHP應用中的性能和可靠性。
市場
• 半導體晶圓廠
• 燃氣公司
特點與優(yōu)勢：
• 輕巧的設計降低了安裝成本
• 尺寸可達6英寸
• zui大工作壓力375 psig（250 psig 1英寸）
• 內部泄漏率：1 x 10-10 scc / sec He（額定值）
• 外部泄漏率：1 x 10-10 scc / sec He
• 可提供手動和氣動（AOP）配置
• 氣動執(zhí)行器選項：1英寸，1.5英寸和2英寸
• 可選進口和出口吹掃口 德國化工DCS成套派克高流量分裝閥（375 PSIG） - 700系列德國化工DCS成套派克高流量分裝閥（375 PSIG） - 700系列