瑞士VAT真空閘板閥在中國的合作供貨商
VAT是一家在真空閥門領(lǐng)域處于絕對(duì)位置的瑞士公司,VAT自1964年成立以來,在真空閥門技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了專業(yè)化的運(yùn)作。因其強(qiáng)大的研發(fā)創(chuàng)新和業(yè)界聞名的高品質(zhì),世界各半導(dǎo)體芯片設(shè)備、太陽能設(shè)備制造廠商、大學(xué)和科研機(jī)構(gòu)大量采用了VAT公司的產(chǎn)品,其生產(chǎn)的閥門在真空產(chǎn)生和研究系統(tǒng)中都是業(yè)界的標(biāo)準(zhǔn)組件。
VAT閥門主要運(yùn)用在:半導(dǎo)體加工,玻璃或鍍膜設(shè)備,高能物理(科研),同步加速器(科研),激光技術(shù),空間模擬,冶金,表面分析等行業(yè)。產(chǎn)品包括:插板閥、蝶閥、傳送閥、隔膜閥、角閥等,是高靈敏度和高可靠性的控制真空閥。
產(chǎn)品服務(wù):
瑞士VAT閥門、閘閥、鐘擺閥、控制閥、角閥、隔膜閥、連接部件、多閥門模塊、加熱器、鍍膜
品牌介紹:
VAT真空閥門公司是一家活躍于市場(chǎng)的瑞士公司,是真空閥門開發(fā)、制造和銷售的公司。產(chǎn)品廣泛用于半導(dǎo)體、鍍膜行業(yè)和研發(fā)、平板顯示器制造,玻璃和工具鍍膜,冶金,表面分析,高能物理學(xué),同步加速器,激光技術(shù)和太空旅行模擬等領(lǐng)域。
主要型號(hào):
010系列、012系列、081系列、091系列、108系列、110系列、121系列、140系列、150系列、152系列、162系列、168系列、640系列、641系列、650系列、652系列、022系列、032系列、043系列、075系列、076系列、066系列、211系列、214系列、216系列、245系列、264系列、471系列、773系列、790系列、790系列
瑞上VAT部分產(chǎn)品介紹
1.VAT閘閥
具有模塊化執(zhí)行機(jī)構(gòu)概念的VAT緊湊型迷你超高壓閘閥非常適合I業(yè)和研發(fā)應(yīng)用。它通常用于半導(dǎo)體工藝系統(tǒng)的管道中。插入版本
以集成到真空系統(tǒng)中(無閥體),更高的密封材料(Chemraz, EPDM等), 帶有VITON制成的密封件,可更換,特殊的閥門澆口,適
合安裝各種孔板。
2.VAT蝶閥
VAT蝶閥是下游應(yīng)用的蝶形壓力控制閥。帶有非??焖偾覉?jiān)固的執(zhí)行器,高性能,集成控制器,具備極短的控制響應(yīng)時(shí)間和位置指I
示,自動(dòng)維護(hù)指示,出色的抗污染能力。該閥"的控制器可確保非常快速和準(zhǔn)確的壓力控制。通過操作L EARN功能,在啟動(dòng)時(shí)只
需要執(zhí)行一次,即可自動(dòng)確定系統(tǒng)參數(shù)。由于采用了自適應(yīng)算法,因此控制器可以連續(xù)適應(yīng)過程條件(氣體種類,氣體流量),從而
確保隨時(shí)進(jìn)行最佳壓力控制。
B.VAT轉(zhuǎn)換閥
VAT轉(zhuǎn)換閥用于200.300和450毫米晶圓的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和處理室隔離。雙作用氣動(dòng)執(zhí)行器,主體材質(zhì)為鋁,不銹
鋼,波紋管受保護(hù),使用壽命長,大于500萬次循環(huán)的預(yù)期壽命,公稱內(nèi)徑32x222到56x496毫米。
4.VAT角閥
VAT角閥適用于大多數(shù)腐蝕性氣體,除氣率極低。當(dāng)排氣速率極低時(shí),對(duì)于特高壓系統(tǒng)的泵送和排氣很重要。耐高壓差,固定式可
旋轉(zhuǎn)CF法蘭,在最高溫度80°C下可以進(jìn)行300萬次循環(huán),主體材質(zhì)不銹鋼,執(zhí)行器類型分為手動(dòng)執(zhí)行器(手輪),氣動(dòng)執(zhí)行器(單閉
孔,帶有閉合彈簧NC)。
5.VAT軟啟動(dòng)閥
VAT軟啟動(dòng)閥由兩半節(jié)流閥瓣組成,它們支撐在一條公共軸 上,并通過彈簧保持在打開位置。軸保持在ISO KF對(duì)中環(huán)中,該對(duì)中環(huán)
形成為帶有閥座的主體。將它們安裝在兩個(gè)SO-KF法蘭(而不是定心環(huán)之間時(shí),必須將打開的閥對(duì)準(zhǔn)真空管路中的氣流。當(dāng)粗加
工系統(tǒng)投入運(yùn)行時(shí),在粗加工管線中會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)氣流,該氣流會(huì)立即關(guān)閉閥門,并使管段減少約99%。當(dāng)達(dá)到約2%的壓差時(shí),在
15mbar時(shí),閥]打開并幾乎毫5阻礙地離開管道,以進(jìn)行進(jìn)步泵送。
瑞士VAT真空閘板閥在中國的合作供貨商