半導(dǎo)體檢測顯微鏡

MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導(dǎo)體檢測顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法（DIC）、熒光法、紅外線法和深紫外線法，保證了的圖像分辨率和鮮明度。

• 考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)

• 鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系

• 軟件方案

• 支持缺陷檢測的多種功能

• 幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件

考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)

主要操作集中配置在前面板上

前面板 
[1] 照明強(qiáng)度旋鈕 
[2] 物鏡倍率切換 
[3] 孔徑光闌調(diào)節(jié) 

在對(duì)比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動(dòng)，用一個(gè)按鈕就可以操作。此外，用一個(gè)手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對(duì)焦手柄，只要輕動(dòng)大拇指就可以操作。這個(gè)按鈕的傾斜式設(shè)計(jì)提高了手指尖的感知度，能夠防止錯(cuò)誤操作。

觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒

傾斜鏡筒示意圖

為了適應(yīng)視點(diǎn)而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進(jìn)行檢查的話會(huì)浪費(fèi)時(shí)間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對(duì)應(yīng)）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點(diǎn)的距離，可以在較大的平臺(tái)上輕松操作。

高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置

內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄

對(duì)應(yīng)300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺(tái)有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄，可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時(shí)能自由地移動(dòng)載物臺(tái)，快速完成檢查。

鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系

多種選擇可實(shí)現(xiàn)的成像性能

物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件，奧林巴斯有應(yīng)對(duì)多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。

觀察影像實(shí)例

明視場觀察

暗視場觀察

微分干涉觀察

半導(dǎo)體檢測顯微鏡熒光觀察

軟件方案

實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像

MX61L配備了PC界面，可以讀取顯微鏡的電動(dòng)功能。因此，捕獲影像時(shí)可以自動(dòng)保存物鏡倍率，為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。

使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像

三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。

支持缺陷檢測的多種功能

快速切換物鏡，提高檢查速度

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場中心附近偏離。

變換物鏡，孔徑光闌（AS）也隨之調(diào)節(jié)

AS自動(dòng)調(diào)節(jié)示意圖

每次變換物鏡時(shí)都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌（AS）的話，會(huì)影響檢查速度。MX61L對(duì)每個(gè)物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS（14級(jí)），只要切換物鏡就能以zui合適的對(duì)比度進(jìn)行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時(shí)不再需要花時(shí)間調(diào)節(jié)AS，提高速度的同時(shí)減輕了操作員的疲勞。

幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件

安全快速的搬運(yùn)晶圓

自動(dòng)晶圓搬送機(jī)AL110（200 mm規(guī)格）組合

MX61L能與自動(dòng)晶圓搬送機(jī)組合，組合后的尺寸也被設(shè)計(jì)得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。

近紅外線觀察單元

由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，對(duì)應(yīng)近紅外線的裝置備有各種型號(hào)。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。

近紅外線觀察單元

粘合襯墊

熒光觀察單元

在滑桿上追加鏡子裝置可以對(duì)應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。

熒光鏡單元

熒光觀察

透射照明單元

透射照明單元