自動晶圓搬送機(jī)

● 用于100mm/125mm/150mm晶圓傳送及檢查（ALL110-6）

● 用于200mm晶圓傳送及檢查,200/150mm晶圓交替檢查可能（AL110-8）

● 非接觸式對中方式,潔凈度提高,減少晶圓污染的可能性

● 靈活的程式設(shè)計,zui短的搬送時間極大的提高了生產(chǎn)效率

● AL110-12 3--VMM 晶圓自動搬送機(jī)臺（NEW）

多種規(guī)格可選

        可以按照晶圓尺寸選擇的兩種型號：除了200 mm、200 mm/150 mm兼用的AL110-8系列之外，又推出了只要改變單元就能對應(yīng)150 mm、125 mm和100 mm尺寸的AL110-6系列。非接觸式搬運(yùn)裝置可以搬運(yùn)小直徑晶圓。AL110-6系列還可以個別對應(yīng)50 mm、75 mm的晶圓搬運(yùn)（非接觸式搬運(yùn)不可）。

縮短制程時間，實現(xiàn)快速檢查

        使用非接觸式搬運(yùn)裝置和透視型傳感器檢測晶圓的晶向定位（凹槽），縮短了晶圓的交換時間，從而縮短了搬運(yùn)時間。

進(jìn)一步提高清潔度

        為了盡量減少設(shè)備與晶圓的接觸，采用了高精度的非接觸式搬運(yùn)機(jī)構(gòu)。此外，在操作面板和宏觀功能的手柄蓋等處使用了不銹鋼，防止了搬運(yùn)、操作時灰塵的附著，極大程度的提高了清潔度。

電動載物臺安全搬運(yùn)晶圓

        組合了可以與自動晶圓搬送機(jī)聯(lián)動操作的電動載物臺MS200，實現(xiàn)了載物臺的簡易化。