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SU3500掃描電子顯微鏡 特點 |
（*2）：和日立SEM S-3400N相比
（*3）：根據(jù)觀察條件的不同，時間會有變動
（*4）：自選
| 項目 | 描述 | |
| 二次電子分辨率 | 3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式） | |
| 7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 背散射電子分辨率 | 4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式） | |
| 10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 放大倍率 | 5 - 300,000倍（底片倍率＊5） | |
| 7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率＊6） | ||
| 加速電壓 | 0.3 - 30kV | |
| 可變壓力范圍 | 6 - 650Pa | |
| zui大樣品尺寸 | 直徑 200mm | |
| 樣品臺 | X | 0 - 100mm |
| Y | 0 - 50mm | |
| Z | 5 - 65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 可觀察區(qū)域 | 直徑 130mm （旋轉(zhuǎn)并用） | |
| zui大樣品高度 | 80mm（WD=10mm） | |
| 馬達臺 | 5軸標配 | |
| 電子光學系統(tǒng) | 電子槍 | 預對中的鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可動光闌 | |
| 探檢測器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器 | |
| 高靈敏度半導體背散射電子檢測器 | ||
| EDX分析 WD | 10mm（取出角35°） | |
| 圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知） |
| 圖像顯示模式 | 全屏模式（1,280 × 960 像素） | |
| 小屏模式（800 × 600 像素） | ||
| 雙圖像顯示（800 × 600 像素） | ||
| 四屏幕顯示（640 × 480像素） | ||
| 信號混合模式 | ||
| 排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動排氣 |
| 渦輪分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
| 機械泵 | 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 | |
（*2）：以127mm×95mm（圖像尺寸4"×5"）的顯示尺寸規(guī)定倍率
（*3）：以345mm×259mm（像素1,280×960）的顯示尺寸規(guī)定倍率
（*4）：Windows®是微軟公司在美國和其他國家的注冊商標
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