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FS4001-30-CV-A 流量傳感器

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更新時間:2017-07-21 09:08:39瀏覽次數(shù):432

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產(chǎn)品簡介

FS4001-30-CV-A 流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。*的封裝技術使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

詳細介紹

微小氣體流量計,FS4001-30-CV-A 流量傳感器,小口徑氣體流量計,小流量氣體流量計,微型氣體流量計,廣東微小氣體質(zhì)量流量計,,廣州微型氣體流量計,空氣流量計,二氧化碳流量計,氮氣流量計,氧氣流量計,微型氬氣流量計,迪川微型質(zhì)量流量傳感器

產(chǎn)品簡介:
 FS4001-30-CV-A 流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。*的封裝技術使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點:
  - 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
  - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
  - 感器的高精度計量
  - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
  - 傳感器的零點穩(wěn)定度高
  - 全量程高穩(wěn)定性
  - 全量程高精確度和優(yōu)良的重復性
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應時間快
FS4001-30-CV-A 流量傳感器主要參數(shù):

性能參數(shù)

FS4001

單位

1.0

1.8

mm

zui大流量

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程比

>1001

 

±(1.5+0.2FS)

%

重復性

0.25

%讀數(shù)

零點輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

±0.12

%/oC

響應時間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作電源

8~18Vdc,50mA

 

輸出方式

線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc

 

zui大流量壓損

350

300

pa

zui大工作壓力

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

oC

存儲溫度

-20 ~ +65

oC

工作濕度

<95%RH(無結冰、無凝露)

 

機械接口

可拆式軟管接頭

 

校準方式

空氣(或其他氣體),20oC101.325kPa

 

重量

15

g

 

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