FS4000微型氣體流量傳感器

FS4000微型氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
 
FS4000微型氣體流量傳感器產(chǎn)品概述: 
siargo ltd FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測(cè)量范圍zui大到5SLPM；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。
siargo ltd FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測(cè)量范圍zui大到50SLPM；
產(chǎn)品特點(diǎn): 
   - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì) 
  - 支持多種連接方式，易于安裝與使用 
    - 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量 
    - 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高 
    - 輸出方式靈活，既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓 
    - 零點(diǎn)穩(wěn)定度高 
    - 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性 
    - 低功耗、低壓損 
    - 響應(yīng)速度快 
產(chǎn)品特點(diǎn): 

性能參數(shù) FS4003 FS4008 單位 
通 徑 3 8 mm 
zui大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 
量程比 100:1  
精 度 ±(1.5+0.2FS) % 
重復(fù)性 0.75 % 
零點(diǎn)輸出飄移 ±30 mV 
輸出飄移 0.12 %/oC 
響應(yīng)時(shí)間 100 ms 
工作電源 8~18Vdc,100mA   
輸出方式 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc   
zui大流量壓損 100 600 pa 
zui大工作壓力 0.5 MPa 
工作溫度 -10 ~ +55 oC 
存儲(chǔ)溫度 -20 ~ +65 oC 
工作濕度 <95%RH（無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露）   
機(jī)械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭  
校準(zhǔn)方式 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa  
重量 57（帶R1/4,BSPT1/4接口）
71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭) 
英文說(shuō)明
Unit performance parameters FS4003 FS4008 
3 8 mm diameter 
Maximum flow 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 
100:1 turndown ratio 
Accuracy ± (1.5 +0.2 FS)% 
Repeatability 0.75% 
Zero drift ± 30 mV 
Output drift 0.12% / oC 
Response time 100 ms 
Power Supply 8 ~ 18Vdc, 100mA 
Linear output, RS232 / analog voltage 0.5 ~ 4.5Vdc 
Maximum flow pressure loss 100 600 pa 
Maximum working pressure of 0.5 MPa 
Operating temperature -10 ~ +55 oC 
Storage temperature -20 ~ +65 oC 
Humidity <95% RH (with no icing or condensation) 
Mechanical interface BSPT1 / 4 (R1 / 4), 4mm/6mm/8mm quick connector 
Calibration methods of air (or other gases), 20oC, 101.325kPa 
Weight of 57 (with R1 / 4, BSPT1 / 4 interface) 
71 (with 4mm, 8mm fast interface, 68 (with 6mm quick connector)