奧林巴斯MX61半導體檢查顯微鏡

考慮了檢查效率的設計

主要操作集中配置在前面板上

前面板

[1] 照明強度旋鈕                 [2] 物鏡倍率切換             [3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)

在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作。此外，用一個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。

觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒

傾斜鏡筒示意圖

為了適應視點而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150                        mm，SEMIS8對應）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。

高靈敏度載物臺可以迅速決定位置

內(nèi)置離合器的載物臺手柄

對應300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺手柄，可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，快速完成檢查。

鮮明圖像和**的分辨率為特點的光學系

多種選擇可實現(xiàn)**的成像性能

物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件，奧林巴斯有應對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。

觀察影像實例

熒光觀察

軟件方案

實現(xiàn)數(shù)字成像

MX61L配備了PC界面，可以讀取顯微鏡的電動功能。因此，捕獲影像時可以自動保存物鏡倍率，為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。

使用數(shù)碼照相機記錄和保存數(shù)碼影像

三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報告?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機。

支持缺陷檢測的多種功能

快速切換物鏡，提高檢查速度

電動物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖

電動物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。

變換物鏡，孔徑光闌（AS）也隨之調(diào)節(jié)

AS自動調(diào)節(jié)示意圖

每次變換物鏡時都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌（AS）的話，會影響檢查速度。MX61L對每個物鏡都可以設置觀察方法和AS（14級），只要切換物鏡就能以合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調(diào)節(jié)AS，提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。

幫助實現(xiàn)多種觀察的附件

安全快速的搬運晶圓

自動晶圓搬送機AL110（200 mm規(guī)格）組合

MX61L能與自動晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。

近紅外線觀察單元

由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，對應近紅外線的裝置備有各種型號。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。

熒光觀察單元

在滑桿上追加鏡子裝置可以對應熒光觀察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機EL和殘留光刻膠。

透射照明單元

透射照明單元

對應光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實現(xiàn)了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號兩種型號。

奧林巴斯MX61半導體檢查顯微鏡技術(shù)參數(shù)：