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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè)

CEL-OPTH高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同），在光熱協(xié)同的作用下，實現(xiàn)催化新材料的合成與光熱催化活性的表征。系統(tǒng)由高溫反應(yīng)爐、石英反應(yīng)管、法蘭接頭、氙燈光源、導(dǎo)光柱、滑動平臺等部分組成，該系統(tǒng)的優(yōu)勢是在高溫加熱過程中，上方氙燈光源產(chǎn)生的光可通過導(dǎo)光柱由外向內(nèi)導(dǎo)入石英反應(yīng)管并照射到反應(yīng)樣品上，實現(xiàn)了光熱催化協(xié)同作用。
材料合成，高溫加熱（ZUI高1000℃）的同時加入光源，提高催化劑材料的產(chǎn)率、改變材料的形貌特征、提高材料的各種催化性能。
材料表征，評價光熱協(xié)同情況下催化劑材料的活性。
CEL-OPTH高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同），主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的合成燒結(jié)、催化劑材料的制備、材料的活性評價、光解水制氫、光解水制氧、二氧化碳還原、氣相光催化、甲醛氣體的光催化降解、VOCs、NOx、SOx、固氮等領(lǐng)域。

CEL-OPTH高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)的特點：
1)高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)實現(xiàn)高溫過程中光催化反應(yīng)體系，常溫～1000℃（連續(xù)可調(diào)、程序升溫）；
2)可以讓紫外光、可見光、紅外光等光源照射到催化劑材料的表面，實現(xiàn)光熱協(xié)同；
3)光熱催化反應(yīng)器采用高透光石英玻璃管，內(nèi)含石英樣品臺；
4)可以實現(xiàn)氣氛保護(hù)、抽取真空、PECVD、多種氣體流量控制等功能；
5)系統(tǒng)采用滑動可平移的滑動結(jié)構(gòu)，可以隨時調(diào)整樣品位置，實現(xiàn)快速加熱或快速冷卻；
6)采取模塊化設(shè)計，光源、高溫反應(yīng)爐、高溫石英反應(yīng)器、高真空、PECVD等，可根據(jù)情況任意更換。
7)可根據(jù)用戶需求，特殊定制，生產(chǎn)周期短、效率高。

光熱協(xié)同系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

CEL-OPTH-Ⅰ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同）
序號	技術(shù)	參數(shù)
1	加熱功率	1.2KW （220V、50Hz）
2	爐體隔熱	風(fēng)冷隔熱
3	控溫范圍	常溫~1000℃ （1℃），ZUI高1200℃；
4	加熱/冷卻	加熱30℃/min，冷卻60℃/min
5	快速冷卻	風(fēng)冷
6	標(biāo)配光源	CEL-PF300-T8氙燈光源系統(tǒng)（含濾光片）
7	工作區(qū)	150mm；
8	加熱管	直徑60mm，平面照射；材質(zhì)：紫外高透高純石英；（選配30mm）
9	導(dǎo)光筒	石英棒，60mm，可更換玻璃，材質(zhì)：紫外高透高純石英
10	法蘭接頭	ZL法蘭接頭，兼顧氣密性和快速更換
11	滑軌	不銹鋼雙向滑軌，長度1100mm；（可升級自動滑軌）
12	選配光源	汞燈光源、LED光源、微波無極光源
13	選配模塊	（1）PECVD 模塊；（2）高真空系統(tǒng)模塊；（3）配氣系統(tǒng)模塊
14	測試分析	（1）氣相色譜儀 GC7920 (2)離子色譜儀（NH₄⁺，NO₂^-，NO₃^-，SO₄^2-，Br^-等）；

選配模塊：
1.PECVD模塊：
為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。環(huán)境溫度100~300℃，反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，解離和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較高溫度的基體表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。
等離子設(shè)備參數(shù)

功率	50～500W連續(xù)可調(diào)；AC220V、50HZ
Rf頻率	13.56MHZ（0.005%），穩(wěn)定可調(diào)
噪聲	≤55DB
冷卻	風(fēng)冷

2.高真空系統(tǒng)模塊
高真空系統(tǒng)采用高級分子泵110機(jī)組，并配合壓力表、真空計，組成高真空系統(tǒng)。實現(xiàn)高真空度10^-3Pa。
.高真空系統(tǒng)參數(shù)

抽氣速率（對空氣）	110L/S
前級泵抽速	4L/S
壓縮比	氮氣：>108；氫氣：5×10²
極限壓強(qiáng)	6×10^-7Pa
建議啟動壓強(qiáng)	<100 Pa
輸入電壓頻率	220±20/50（V/Hz）

3.配氣系統(tǒng)模塊
采用質(zhì)量流量計控制氣體流量，調(diào)配所需氣體，實現(xiàn)數(shù)字控制流量和流速。采用日本技術(shù)設(shè)計的質(zhì)量流量計。
4.分析系統(tǒng)模塊
氣相色譜儀、離子色譜儀、液相色譜儀、氮氧化物分析儀、硫化物分析儀、光聲光譜等可供選擇。

CEL-OPTH-Ⅰ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)
光熱協(xié)同系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)（標(biāo)準(zhǔn)型）

CEL-OPTH-Ⅰ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同）
重要應(yīng)用（材料制備+材料表征） 1) 高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)實現(xiàn)高溫過程中光催化反應(yīng)，評價催化劑性能； 2) 可以讓紫外光、可見光等光源照射到催化劑材料的表面，實現(xiàn)光熱協(xié)同； 3) 光熱催化反應(yīng)器采用高透光石英玻璃管，可定制樣品臺； 4) 系統(tǒng)采用可平移的滑動結(jié)構(gòu)，隨時調(diào)整樣品位置，實現(xiàn)快速加熱或快速冷卻；
序號	技術(shù)	參數(shù)
1	加熱功率	1.2KW （220V、50Hz）
2	爐體隔熱	風(fēng)冷隔熱
3	控溫范圍	常溫~1000℃ （1℃），ZUI高1200℃；
4	加熱/冷卻	加熱30℃/min，冷卻60℃/min
5	快速冷卻	風(fēng)冷
6	工作區(qū)	150mm；
7	加熱管	直徑60mm，平面照射；材質(zhì)：紫外高透高純石英；（選配30mm）
8	導(dǎo)光筒	石英棒，60mm，可更換玻璃，材質(zhì)：紫外高透高純石英
9	法蘭接頭	ZL法蘭接頭，兼顧氣密性和快速更換
10	滑軌	不銹鋼雙向滑軌，長度1100mm；（可升級自動滑軌）
11	標(biāo)配光源	CEL-PF300-T8氙燈光源系統(tǒng)（含濾光片）

CEL-OPTH-Ⅱ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)光熱協(xié)同系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)（中真空型）

CEL-OPTH-Ⅱ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同）
重要應(yīng)用（材料制備+材料表征） 1) 高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)實現(xiàn)高溫過程中光催化反應(yīng)，評價催化劑性能； 2) 實現(xiàn)中真空系統(tǒng)下的光熱催化，并配置等離子體活化系統(tǒng)，一體化設(shè)計； 3) 可以讓紫外光、可見光等光源照射到催化劑材料的表面，實現(xiàn)光熱協(xié)同； 4) 光熱催化反應(yīng)器采用高透光石英玻璃管，可定制樣品臺； 5) 系統(tǒng)采用可平移的滑動結(jié)構(gòu)，隨時調(diào)整樣品位置，實現(xiàn)快速加熱或快速冷卻；
序號	技術(shù)	參數(shù)
1	加熱功率	1.2KW （220V、50Hz）
2	爐體隔熱	風(fēng)冷隔熱
3	控溫范圍	常溫~1000℃ （1℃），ZUI高1200℃；
4	加熱/冷卻	加熱30℃/min，冷卻60℃/min
5	快速冷卻	風(fēng)冷
6	工作區(qū)	150mm；
7	加熱管	直徑60mm，平面照射；材質(zhì)：紫外高透高純石英；（選配30mm）
8	導(dǎo)光筒	石英棒，60mm，可更換玻璃，材質(zhì)：紫外高透高純石英
9	法蘭接頭	ZL法蘭接頭，兼顧氣密性和快速更換
10	滑軌	不銹鋼雙向滑軌，長度1100mm；（可升級自動滑軌）
11	標(biāo)配光源	CEL-PF300-T8氙燈光源系統(tǒng)（含濾光片）
12	等離子、中真空配置	等離子線圈、等離子電源、真空泵、真空計、控制電源

CEL-OPTH-Ⅲ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)
光熱協(xié)同系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)（高真空PECVD）

CEL-OPTH-Ⅲ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同）
重要應(yīng)用（材料制備+材料表征） 1) 高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)實現(xiàn)高溫過程中光催化反應(yīng)，評價催化劑性能； 2) 實現(xiàn)高真空系統(tǒng)下的光熱，并配置等離子體活化系統(tǒng)，實現(xiàn)PECVD； 3) 配置三路氣體流量控制，適用于光照高溫CVD工藝下的材料制備； 4) 可以讓紫外光、可見光等光源照射到催化劑材料的表面，實現(xiàn)光熱協(xié)同； 5) 光熱催化反應(yīng)器采用高透光石英玻璃管，可定制樣品臺； 6) 系統(tǒng)采用可平移的滑動結(jié)構(gòu)，隨時調(diào)整樣品位置，實現(xiàn)快速加熱或快速冷卻；
序號	技術(shù)	參數(shù)
1	加熱功率	1.2KW （220V、50Hz）
2	爐體隔熱	風(fēng)冷隔熱
3	控溫范圍	常溫~1000℃ （1℃），ZUI高1200℃；
4	加熱/冷卻	加熱30℃/min，冷卻60℃/min
5	快速冷卻	風(fēng)冷
6	工作區(qū)	150mm；
7	加熱管	直徑60mm，平面照射；材質(zhì)：紫外高透高純石英；（選配30mm）
8	導(dǎo)光筒	石英棒，60mm，可更換玻璃，材質(zhì)：紫外高透高純石英
9	法蘭接頭	ZL法蘭接頭，兼顧氣密性和快速更換
10	滑軌	不銹鋼雙向滑軌，長度1100mm；（可升級自動滑軌）
11	標(biāo)配光源	CEL-PF300-T8氙燈光源系統(tǒng)（含濾光片）
12	高真空PECVD配置	等離子線圈、等離子電源、前級真空泵、分子泵（10^-3Pa）、真空計、真空計、高真空規(guī)、控制電源、三路質(zhì)量流量計控制（200sccm），混配氣系統(tǒng)，控制系統(tǒng)

CEL-OPTH-Ⅳ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)
光熱協(xié)同系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)（流量控制）

CEL-OPTH-Ⅳ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同）
重要應(yīng)用（材料制備+材料表征） 1) 高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)實現(xiàn)高溫過程中光催化反應(yīng)，評價催化劑性能； 2) 配置三路氣體流量控制，適用于光照高溫氣體保護(hù)或氣體參與反應(yīng)的材料制備； 3) 可以讓紫外光、可見光等光源照射到催化劑材料的表面，實現(xiàn)光熱協(xié)同； 4) 光熱催化反應(yīng)器采用高透光石英玻璃管，可定制樣品臺； 5) 系統(tǒng)采用可平移的滑動結(jié)構(gòu)，隨時調(diào)整樣品位置，實現(xiàn)快速加熱或快速冷卻；
序號	技術(shù)	參數(shù)
1	加熱功率	1.2KW （220V、50Hz）
2	爐體隔熱	風(fēng)冷隔熱
3	控溫范圍	常溫~1000℃ （1℃），ZUI高1200℃；
4	加熱/冷卻	加熱30℃/min，冷卻60℃/min
5	快速冷卻	風(fēng)冷
6	工作區(qū)	150mm；
7	加熱管	直徑60mm，平面照射；材質(zhì)：紫外高透高純石英；（選配30mm）
8	導(dǎo)光筒	石英棒，60mm，可更換玻璃，材質(zhì)：紫外高透高純石英
9	法蘭接頭	ZL法蘭接頭，兼顧氣密性和快速更換
10	滑軌	不銹鋼雙向滑軌，長度1100mm；（可升級自動滑軌）
11	標(biāo)配光源	CEL-PF300-T8氙燈光源系統(tǒng)（含濾光片）
12	流量控制配置	控制電源、三路質(zhì)量流量計控制（200sccm），混配氣系統(tǒng)，閥門、氣體混合罐、連接管路、控制系統(tǒng)