IV 測量性能:0.1 fA / 0.5 µV 測量分辨率
測量功能包括單通道和多通道掃描、時間采樣、列表掃描、準靜態(tài) CV(使用 SMU)、HV-SPGU 的直接控制和任意線性波形生成 (ALWG) GUI。
可選的集成電容模塊支持高達 5 MHz 的 CV 測量
可選的基于定位器的 CV-IV 開關解決方案具有 0.5 µV 電壓測量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 電流測量分辨率能力
通過內置半自動晶圓探針驅動器和測試序列輕松實現(xiàn)測試自動化,無需通過快速測試模式進行編程
可選的高壓半導體脈沖發(fā)生器單元 (HV-SPGU) 具有 10 ns 可編程脈沖寬度和 +/- 40 V(80 V 峰峰值)輸出。
可選的波形發(fā)生器/快速測量單元 (WGFMU) 具有 ALWG 和快速電流或電壓測量功能。
10 ns 脈沖 IV 解決方案可用于表征高 k 柵極電介質和 SOI(絕緣體上硅)晶體管。
經(jīng)典測試模式可用于提供 4155/4156 界面的外觀、感覺和術語,同時通過充分利用 Microsoft ® Windows ® GUI 功能增強用戶交互
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