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可對應(yīng)定位精度、速度穩(wěn)定性、長行程、客制品等各種要求。
也可構(gòu)建X、XY、Xθ（Theta）、XYθ（Theta）軸平臺。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
XYθ（Theta）對位平臺直線電機多軸平臺基于與伺服控制技術(shù)相互兩全的高性能控制平臺。
可對應(yīng)定位精度、速度穩(wěn)定性、長行程、客制品等各種要求。
也可構(gòu)建X、XY、Xθ（Theta）、XYθ（Theta）軸平臺。
行程100-21300mm.
XYθ（Theta）對位平臺直線電機多軸平臺結(jié)構(gòu)緊湊、低組裝，大中空孔，高動態(tài)性和優(yōu)異的幾何性能。
平臺從需要高動態(tài)性和微米級直線度的雙面晶圓加工，到由DX B、ARC無鐵芯電機驅(qū)動的準(zhǔn)靜態(tài)光學(xué)量測,需要高精度和精確的幾何性能。
應(yīng)用場景
對位平臺
XYθ對位平臺
UVW對位平臺
對位系統(tǒng)
網(wǎng)印視覺對位
COG視覺對位
切割對位系統(tǒng)
曝光對位系統(tǒng)
貼合機對位系統(tǒng)
裝配視覺對位
該平臺屬于LMH三軸平臺系列，具有高分辨率，高重復(fù)定位精度，廣泛應(yīng)用于光學(xué)測量儀器，晶圓對準(zhǔn)，LCD面板檢測，半導(dǎo)體處理，激光切割和鉆孔，復(fù)合機等.