Tonghui同惠TH513半導體C-V特性分析儀TH512

Tonghui同惠TH513半導體C-V特性分析儀TH512

CV曲線掃描分析能力亦能滿足實驗室對半導體材料及功率器件的研發(fā)及分析。

儀器設計頻率為1kHz-2MHz，VGS電壓可達±40V，VDS電壓可達±200V/±1500V/±3000V，足以滿足大多數(shù)功率器件測試。

功能特點

A.一體化測試，集成度高、體積小、效率高

一臺儀器內置了LCR數(shù)字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機軟件，將復雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統(tǒng)內，操作更簡單。特別適合產線快速化、自動化測試。

B.單管器件測試，10.1寸大屏，四種寄生參數(shù)同屏顯示，讓細節(jié)一覽無遺

MOSFET或IGBT最重要的四個寄生參數(shù)：Ciss、Coss、Crss、Rg，Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測試，10.1寸大屏可同時將測量結果、等效電路圖、分選結果等重要參數(shù)同時顯示，一目了然。

一鍵測試單管器件器件時，無需頻繁切換測試腳位、測量參數(shù)、測量結果，大大提高了測試效率。

C.列表測試，多個、多芯、模組器件測量參數(shù)同屏顯示

TH510系列半導體C-V特性分析儀支持最多6個單管器件、6芯器件或6模組器件測試，所有測量參數(shù)通過列表掃描模式同時顯示測試結果及判斷結果。

D.曲線掃描功能（選件）

在MOSFET的參數(shù)中，CV特性曲線也是一個非常重要的指標，如下圖

TH510系列半導體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以以對數(shù)、線性兩種方式實現(xiàn)曲線掃描，可同時顯示多條曲線：同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線。

E.接觸檢查（Contact）功能，提前排除自動化測試隱患

F.快速通斷測試（OP_SH）,排除損壞器件

在半導體器件特性測試時，由于半器件本身是損壞件，特別是多芯器件其中一個芯已經損壞的情況下，測試雜散電容仍有可能被為合格，而半導體器件的導通特性才是最重要的特性。

因此，對于本身導通特性不良的產品進行C-V特性測試是沒有必要的，不僅僅浪費了測量時間，同時會由于C-V合格而混雜在良品里，導致成品出貨后被退回帶來損失.

TH510系列半導體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試（OP_SH）功能,可用于直接判斷器件本身導通性能。

G.模組式器件設置，支持定制

針對模組式器件如雙路（Dual）MOSFET、多組式IGBT，有些器件會有不同類型芯片混合式封裝;TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優(yōu)化，常見模組式芯片Demo已內置，特殊芯片支持定制.

H.簡單快捷設置

I.10檔分選及可編程HANDLER接口

J.支持定制化，智能固件升級方式

同惠儀器對于客戶而言是開放的，儀器所有接口、指令集均為開放設計，客戶可自行編程集成或進行功能定制，定制功能若無硬件更改，可直接通過固件升級方式更新。

儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等，都可以通過升級固件(Firmware)來進行更新，而無需返廠進行。

固件升級非常智能，可以通過系統(tǒng)設置界面或者文件管理界面進行，智能搜索儀器內存、外接優(yōu)盤甚至是局域網(wǎng)內升級包，并自動進行升級

K.解決Ciss、Coss、Crss、Rg產線/自動化系統(tǒng)高速測試精度

同惠電子在電容測試行業(yè)近30年的經驗積累，得以在產線、自動化測試等高速高精度測試場合，都能保證電容、電阻等測試精度。

常規(guī)產線測試，提供標準0米測試夾具，直插器件可直接插入進行測試，Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度高。

針對自動化測試，由于自動化設備測試工裝通常需要較長連接線，大多自動化設備生產商在延長測試線時會帶來很大的精度偏差，為此，同惠設計了2米延長線并內置了2米校準，保證Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度和0米測試夾具一致。

L.半導體元件寄生電容知識

在高頻電路中，半導體器件的寄生電容往往會影響半導體的動態(tài)特性，所以在設計半導體元件時需要考慮下列因數(shù)

在高頻電路設計中往往需要考慮二極管結電容帶來的影響；MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅動能力和開關損耗等多方面特性；寄生電容的電壓依賴性在電路設計中也是至關重要，以MOSFET為例。

M.標配附件

Tonghui同惠TH513半導體C-V特性分析儀TH512

• 技術參數(shù)

• 產品型號			TH511		TH512	TH513
  通道數(shù)			2（可選配4/6通道）			2
  顯示	顯示器		10.1英寸(對角線)電容觸摸屏
  	比例		16:9
  	分辨率		1280×RGB×800
  測量參數(shù)			Ciss、Coss、Crss、Rg，四參數(shù)任意選擇
  測試頻率	范圍		1kHz-2MHz
  	精度		0.01%
  	分辨率		10mHz                 1.00000kHz-9.99999kHz
  			100mHz               10.0000kHz-99.9999kHz
  			1Hz                      100.000kHz-999.999kHz
  			10Hz                    1.00000MHz-2.00000MHz
  測試電平	電壓范圍		5mVrms-2Vrms
  	準確度		±（10%×設定值+2mV）
  	分辨率		1mVrms               5mVrms-1Vrms
  			10mVrms             1Vrms-2Vrms
  VGS電壓	范圍		0 - ±40V
  	準確度		1%×設定電壓+8mV
  	分辨率		1mV               0V - ±10V
  			10mV             ±10V -±40V
  VDS電壓	范圍		0 - ±200V		0 - ±1500V	0 - ±3000V
  	準確度		1%×設定電壓+100mV
  輸出阻抗			100Ω，±2%@1kHz
  數(shù)學運算			與標稱值的絕對偏差Δ，與標稱值的百分比偏差Δ%
  校準功能			開路OPEN、短路SHORT、負載LOAD
  測量平均			1-255次
  AD轉換時間（ms/次）			快速+：0.56ms(＞5kHz) 快速：3.3ms 中速：90ms 慢速：220ms
  最高準確度			0.5%（具體參考說明書）
  Ciss、Coss、Crss			0.00001pF - 9.99999F
  Rg			0.001mΩ - 99.9999MΩ
  Δ%			±（0.000% - 999.9%）
  多功能參數(shù)列表掃描	點數(shù)		50點，每個點可設置平均數(shù)，每個點可單獨分選
  	參數(shù)		測試頻率、Vg、Vd、通道
  	觸發(fā)模式		順序SEQ：當一次觸發(fā)后，在所有掃描點測量，/EOM/INDEX只輸出一次
  			步進STEP：每次觸發(fā)執(zhí)行一個掃描點測量，每點均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結果只在最后的/EOM才輸出
  圖形掃描	掃描點數(shù)		任意點可選，最多1001點
  	結果顯示		同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線
  	顯示范圍		實時自動、鎖定
  	坐標標尺		對數(shù)、線性
  	掃描參數(shù)觸發(fā)方式		Vg、Vd
  		單次	手動觸發(fā)一次，從起點到終點一次掃描完成，下個觸發(fā)信號啟動新一次掃描
  		連續(xù)	從起點到終點無限次循環(huán)掃描
  	結果保存		圖形、文件

  
  

• 附件

標配
配件名稱	型號
測試夾具	TH26063B
測試夾具	TH26063C
TH510夾具控制連接電纜	TH26063D
TH510測試延長線	TH26063G

同惠TH512半導體C-V特性分析儀

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同惠TH512半導體C-V特性分析儀