潔凈室控制的幾個熱點問題（1）--氣流速度

二 . 氣流速度 
2.1 有關(guān)推薦或參考值的應(yīng)用 
 潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是： 
(1) 室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大； 
(2) 室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流；而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層； 
(3) 自凈時間（恢復時間）的控制要求：潔凈室中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設(shè)備的移動等都會造成潔凈度的惡化，恢復到原來潔凈度的自凈時間決定于氣流速度；對自凈時間的控制要求取決于此時間框架內(nèi)（惡化的潔凈度下），對產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力； 
(4) 末級過濾器的效率：在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下，可采用較率的過濾器以降低氣流速度；為節(jié)能應(yīng)考慮采用較率的過濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積zui??； 
(5) 經(jīng)濟性考慮：過大的氣流速度造成投資及運行費用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果； 
(6) 對潔凈度要求低的潔凈室，有時換氣次數(shù)決定于室內(nèi)排熱的要求。 
以上因素，皆很難量化，只能分析對比并估計。因此在工程應(yīng)用中，對潔凈室的氣流速度往往參照有關(guān)規(guī)范、導則等的推薦或參考值，再按具體情況估計以上各影響因素進行綜合考慮后確定。 
氣流速度用于單向流潔凈室；非單向流潔凈室宜用換氣次數(shù)，因為其氣流速度難于測準；亦有用末級過濾滿布率來反映的，可用于各種氣流流型的潔凈室，一般滿布率* 相對于流速 0.5m/s （ 100fpm ）， 25% 相對于 0.125m/s （ 25fpm ）。當前有關(guān)規(guī)范、導則等的推薦或參考值見表 1 。 
注： 1 、 ISO14644-4 對于氣流速度 / 換氣次數(shù)是明確作為參考資料的，表中所列僅適用于微電子及 IC 工廠；對制藥廠只列 ISO5 級氣流速度 >0.2m/s ，對ISO6 ～ 8 級皆未列出參考值。 
2 、（ M ）指混合流， N 指非單向流； * 指對污染源已采取有效的隔離措施的潔凈區(qū)。 
表 1 中有關(guān)氣流速度和換氣次數(shù)的推薦或參考值，應(yīng)該說是經(jīng)驗的反映。如 ISO/DIS14664-4 提出的數(shù)值皆明確適用于那類潔凈室的； IEST 的推薦值亦是被一些機構(gòu)認為僅適用于半導體工廠。由于具體情況變化較大，有的經(jīng)驗值可能已不適合當前的室內(nèi)塵源控制措施及過濾器效率提高的情況。 
2.2 對有關(guān)推薦或參考值的討論 
近年來不少人通過實驗認為這些推薦或參考值過于保守，其論點可歸納為： 
(1) 潔凈室內(nèi)氣流的橫向擴散只在甚低的流速下才有可能，單向流在合理的氣流組織下，流速 0.05 ～ 0.1m/s 就足夠帶走污染物，在此流速下亞微米粒子的擴散性能遠低于對流性能；而大于 0.36m/s 的氣流速度反而易千百萬渦流，引起污染物的再卷入。因此，潔凈室的理想自凈時間 Tr= 體積 / 流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大氣流速度，實際的 Tr 并不再有明顯的減少。 
(2) 末級過濾器的效率對潔凈度的影響是值得起注意的。有的氣流速度 / 換氣次數(shù)推薦或參考值對末級過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當前HEPA/ULPA 的效率從 99.67% 、 99.99% 、 99.999% 、 99.9995% 直至 8 個 9 以上都可選擇。其效率對氣流速度的影響除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非單向流情況下，按衡釋原理的潔凈室內(nèi)含塵濃度穩(wěn)定公式可以得出： 
(a) 室內(nèi)發(fā)塵量較高時，末級過濾器效率的變化對潔凈度影響甚微，因此在這種情況下，過高的過濾效率是無必要的。 
(b) 室內(nèi)發(fā)生塵量較低的情況下，采用低的氣流速度下，末級過濾器效率的變速器變化，對潔凈度的影響增大。 
以上情況可以引用的圖 1a ～ 1c 看出。 
作圖有關(guān)數(shù)據(jù)： 
新風進末過濾器前的含塵濃度 1.75×106 個 /m3 
室內(nèi)發(fā)生量 :G1=350 個 /m3.min 
G2=3500 個 /m3.min 
G3=35000 個 /m3.min 
G4=350000 個 /m3.min 
新風量對于全空氣量的比率 0.03 
當前有的 IC 工廠其 ISO5 級 (0.3μm) 的潔凈室，采用 FFU 系統(tǒng) , 帶 ULPA(99.9995%,0.12μm) ，出口風速為 0.38m/s ，其滿布率為 25% ，這樣室內(nèi)平均氣流速度為 0.095m/s ，在各有關(guān)推薦或參考值的下限下。此潔凈室的工藝加工在微環(huán)境內(nèi)潔凈室內(nèi)的人員亦較少，可以認為潔凈室內(nèi)發(fā)生較低，這種情況下采用低的氣流速度可能是可取的。 
據(jù)報道，目前 IEST 對潔凈室內(nèi)氣流速度推薦值的下限有所降低，如： 
≤ISO5 級：氣流速度 0.2 ～ 0.5m/s ； 
ISO6 級或 5 級（非單向流）；換氣次數(shù)＞ 200 次 /h ； 
ISO7 級：換氣次數(shù) 20 ～ 200 次 /h; 
ISO8 級：換氣次數(shù) 2 ～ 20 次 /h;