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掃描電子顯微鏡(SEM)的工作原理
閱讀：554 發(fā)布時間：2024-11-8
掃描電子顯微鏡(SEM)是一種高分辨率的分析工具，能夠?qū)悠繁砻孢M行詳細觀察和成分分析。與光學(xué)顯微鏡相比，SEM可以提供更高的放大倍率和更清晰的圖像，因此廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)、納米技術(shù)等多個領(lǐng)域。
ZEM15臺式掃描電子顯微鏡掃描速度快，信號采集帶寬10M，可以在視頻模式下流暢實時的顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作，不需對中光闌等復(fù)雜步驟，聚焦消像散后可直接拍圖。主機集成高壓及控制系統(tǒng)，體積小巧，便于移動，可出差攜帶，安裝無需特殊環(huán)境，只需找一張桌子，供電就可工作。
工作原理：
1.電子束發(fā)射：SEM使用電子槍(通常是熱發(fā)射或場發(fā)射電子槍)產(chǎn)生細束電子，這些電子會被加速并聚焦到樣品表面。
2.激發(fā)信號：當(dāng)電子束撞擊樣品時，將導(dǎo)致樣品表面的原子釋放出不同類型的信號，包括二次電子、反向散射電子和特征X射線。
二次電子：來自樣品表面的低能量電子，主要用于獲取表面形貌信息。
反向散射電子：返回的高能量電子，提供關(guān)于樣品組成的信息。
X射線：由樣品原子在受到轟擊后發(fā)出的特征X射線，用于元素分析。
3.信號檢測：收集這些信號通過探測器進行處理，并將其轉(zhuǎn)換為圖像或其他數(shù)據(jù)。
掃描電子顯微鏡是一項強大的科研工具，能夠揭示樣品的微觀世界。正確的操作與維護能夠確保獲得高質(zhì)量的數(shù)據(jù)，促進各個領(lǐng)域的研究和開發(fā)。