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Technoorg Linda 新品發(fā)布!精密制樣技術(shù)新高度
在當(dāng)今高科技行業(yè)中,精密離子研磨技術(shù)的進(jìn)步對材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造和納米技術(shù)的發(fā)展至關(guān)重要。
作為行業(yè)引領(lǐng)者,Technoorg Linda 再次突破創(chuàng)新,在匈牙利首都布達(dá)佩斯剛剛結(jié)束的全球會議中正式發(fā)布了其最新產(chǎn)品 —— 離子研磨儀 SEMPREP SMART 與離子精修系統(tǒng) Gentle Ion Beam(GIB),為全球用戶帶來更加高效、精確的解決方案。
復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司作為 Technoorg Linda 在中國的d家合作伙伴,我們?yōu)榭蛻籼峁┊a(chǎn)品培訓(xùn)、技術(shù)支持和售后服務(wù)。
當(dāng)前在國內(nèi)市場,Technoorg Linda 專注于引進(jìn)并推廣 SEM / TEM / FIB 樣品制備系列設(shè)備。本次發(fā)布的新產(chǎn)品 SEMPREP SMART 離子研磨儀主要用于掃描電鏡(SEM)樣品制備,Gentle Ion Beam(GIB)精修離子束系統(tǒng)主要用于雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后,對 TEM 樣品進(jìn)行zui終拋光和溫和的表面清潔。
新產(chǎn)品 01
SEMPREP SMART 離子研磨儀
SEMPREP SMART 配備了高能量和可選的低能量氬離子槍。用于掃描電子顯微鏡(SEM)和電子背散射衍射(EBSD)樣品的最終加工和清潔。離子加工可以改進(jìn)和清潔機(jī)械拋光的 SEM 樣品,并為 EBSD 分析制備無損表面。該設(shè)備還適用于快速截面加工。為您制備高精度和高質(zhì)量的樣品,例如在半導(dǎo)體測試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實(shí)現(xiàn)出色的效果。
SEMPREP SMART
產(chǎn)品特點(diǎn):
1.配方庫-離線:基于我們長期的經(jīng)驗(yàn)積累
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先進(jìn)的離子槍設(shè)計(jì)和自動化功能
采用超高能離子槍,最高可達(dá) 16keV,帶來更快的加工速率,更優(yōu)異的加工效果。
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新型智能化操作軟件
Technoorg Linda 的新產(chǎn)品在設(shè)計(jì)上充分考慮了用戶的實(shí)際需求,開創(chuàng)性的將 AI 算法集成到系統(tǒng)中,使操作更加智能化,提供多種操作模式:
1.配方庫-離線:基于我們長期的經(jīng)驗(yàn)積累
2.自動配方生成 - 離線:基于簡短問卷
3.Linda AI - 在線:實(shí)時(shí)搜索最佳解決方案,訪問龐大數(shù)據(jù)庫以獲取最佳結(jié)果
高效,全面,智能化的理解用戶需求,提供即時(shí)的反饋和解決方案
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高分辨率數(shù)字相機(jī)
在處理過程中用于樣品觀察
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全新的對位樣品臺
在進(jìn)行 90° 截面樣品加工時(shí)帶來更加精確的樣品定位
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可選的新型 LN2 冷卻系統(tǒng)
為用戶帶來更加高效及精確的長時(shí)間控溫
使用氬離子束進(jìn)行加工
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平面加工模式
在樣品傾斜角小于 10 ° 且連續(xù)旋轉(zhuǎn)的條件下進(jìn)行加工
Cu-7.5wt.%Al 的 EBSD 晶粒取向分布 (a) 和晶界類型 (b)
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90° 截面加工模式
使用鈦或玻璃擋板進(jìn)行連續(xù)搖擺的截面加工
TFT 板的 90° 加工,位置精度為 ±1 微米 加工點(diǎn)后方的 TFT表面細(xì)節(jié)
新產(chǎn)品 02
GIB 精修離子束系統(tǒng)
Technoorg Linda 的精修離子束系統(tǒng)(GIB)適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無定形和氧化物表面層。當(dāng)?shù)湍軞咫x子槍集成到掃描電鏡中時(shí),其作用尤為明顯。有了集成離子槍,就可以在研究之前對樣品進(jìn)行精修。實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量樣品的另一個(gè)重要應(yīng)用是在雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后,對 TEM 樣品進(jìn)行最終拋光和溫和的表面清潔。
GIB 精修離子束系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn):
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儀器控制單元
電子元件、閉環(huán)冷卻系統(tǒng)和氬氣壓力傳感器均位于控制單元內(nèi)。高純度(99.999%)氬氣用于供應(yīng)離子源,其流量由高精度針閥調(diào)節(jié)??刂栖浖?nbsp;Windows 操作系統(tǒng)下運(yùn)行,可以單獨(dú)安裝在一臺計(jì)算機(jī)上,也可以安裝在 SEM 的計(jì)算機(jī)上
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可與掃描電鏡集成
帶波紋管的傳輸系統(tǒng)可通過連接管安裝到掃描電鏡上。連接管輸出法蘭的尺寸與相應(yīng)的 SEM 端口尺寸相匹配。通過線性傳輸系統(tǒng)提供離子源流動性,可實(shí)現(xiàn)理想的工作距離(15-30 mm)。
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低能量氬離子槍
低能量離子槍的直徑和長度均為 50mm。氬離子束的能量范圍:100keV - 2keV。2keV 時(shí)的最大束流為 70µA。離子束為寬束,F(xiàn)WHM 為 2mm。
歡迎您隨時(shí)聯(lián)系我們獲取更多產(chǎn)品詳情和應(yīng)用案例