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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子 |
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
供氣系統(tǒng)的主要特點：該（1路質(zhì)子 2路浮子）是一種可控制三種氣體按不同流量進行混合配比，也可根據(jù)實驗需求加裝洗氣裝置，質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動機柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。 本配比器適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管。氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀，實用，操作簡便。流量顯示準確，可有效地控制氣體消耗量。所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。此款設(shè)備與BEQ品牌的各款真空管式爐和真空機組組成CVD系統(tǒng)。
供氣系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號 | GMF-1Z-2F | |
浮子流量計 | 10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min （浮子流量計的量程可根據(jù)用戶需要選訂） | |
質(zhì)量流量控制器 | 工作電壓： | 185~245V 50HZ |
最大輸出功率： | 18W | |
流量計標準量程： | 100sccm 、200sccm 、500sccm （非特殊以氮氣標定，量程可選） | |
工作溫度： | 5~45℃ | |
工作壓差： | 0.1~0.5MPa | |
最大壓力： | 3MPa | |
準確度： | ±1.5% FS | |
機械壓力表 | 測量范圍： | -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） |
針閥 | 316不銹鋼 | |
混氣罐 | Φ80×120mm | |
截止閥 | Φ6mm 316不銹鋼針閥 | |
尺寸 | 600×600×650 mm | |