回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

1、三段電阻絲加熱爐，加熱溫區(qū)300+300+300，上下6點獨立控溫，溫場均勻性好；

2、設(shè)備兩端配有磁流體密封法蘭，確保爐管能在真空條件下進行轉(zhuǎn)動；

3、設(shè)備配有螺旋上料機構(gòu)，上料電機轉(zhuǎn)速可調(diào)，可自由調(diào)節(jié)上料速度；

4、智能一體化工控屏顯示控制，操作界面簡潔，方便使用。

本臺定制回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備，可實現(xiàn)一次加3L粉料進行生產(chǎn)；從結(jié)構(gòu)上共分成主體設(shè)備、上料機構(gòu)、收料機構(gòu)三大模塊。 一、主體CVD設(shè)備主體CVD設(shè)備主要包含加熱系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、爐管回轉(zhuǎn)機構(gòu)。1、加熱系統(tǒng)：三溫區(qū)加熱爐膛，溫區(qū)長度300+300+300mm，總加熱功率12KW?？販?zé)犭娕紴镵型熱電偶，每段溫區(qū)爐膛上下各1個控溫點獨立控溫，提高爐膛溫場均勻性。2、氣路系統(tǒng)：6路工作氣體，分別由5個D07-19B 500sccm N2和1個CS200A 500sccm N2質(zhì)量流量計控制進入混氣罐，另外配置1路吹掃氣路，由1個D07-19B 5slm N2質(zhì)量流量計并聯(lián)接入混氣罐之前，可以對整個氣路系統(tǒng)進行吹掃。3、真空系統(tǒng)：采用BSV30真空泵，并配置PCG550真空計檢測腔體真空度。4、爐管回轉(zhuǎn)機構(gòu)：采用伺服電機，并配置1:30減速機，保證爐管回轉(zhuǎn)平穩(wěn)。 二、上料機構(gòu)上料機構(gòu)由螺桿送料器、升降機構(gòu)、滑動滑軌組成，送料前通過搖動渦輪升降器手柄可以調(diào)節(jié)螺桿送料器的送料螺桿的中心高度，與設(shè)備法蘭中心高度一致后，鎖緊升降器上方導(dǎo)柱的鎖緊手柄；可左右移動送料螺桿至合適位置進行送料。 三、收料機構(gòu)用真空泵將收料桶抽成真空狀態(tài)，將收料桿深入設(shè)備內(nèi)部物料處，打開收料桿上的球閥，利用真空負(fù)壓產(chǎn)生的吸力將物料吸入收料桶內(nèi)。