SURF-CALDuke PD-100 SURF-CAL 尺度標準微粒

NIST溯源尺度標準，用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標指導(dǎo)準則， 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍， 覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍圖（ITRS）所義的關(guān)鍵質(zhì)控點

Duke PD-100 SURF-CAL 尺度標準微粒

NIST溯源尺度標準，用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標指導(dǎo)準則， 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍， 覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍圖（ITRS）所義的關(guān)鍵質(zhì)控點。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片（PSL）表面，用戶以對掃描儀進行周期性標，并與其它的掃描儀進行對比。 用戶還以對生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關(guān)鍵階段SSIS的性能做出評估。產(chǎn)品包裝為50ml，微粒分散于超凈過濾去離子水中，微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀（DMA）和其它尺寸排除技術(shù)粒子分析儀器的客戶需求。

 

尺度測量方法學(xué)：

為了確保與NIST的直接溯源性，產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標準參考微粒通過電子顯微鏡或光學(xué)顯微鏡的測量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術(shù)筆記1297方法（1994年版“NIST測量結(jié)果不確性評估指導(dǎo)方案”）計算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確性為擴大性不確因素，覆蓋因子數(shù)為2 （K=2）。

 

微粒組成：	聚苯乙烯
微粒密度：	1.05g/cm3
微粒數(shù)量：	3 x 108 or 1010顆/毫升
包裝規(guī)格：	50ml瓶裝，每盒6瓶
微粒折射率：	1.59 @ 589 nm （25°C）
添加劑：	無
產(chǎn)品保質(zhì)期：	≥2年
存儲條件：	冰箱儲藏（冰點以上）防止冰凍，緊閉瓶蓋防止污染
包裝內(nèi)容	標與溯源證書、粒子計數(shù)擬程序、原料安數(shù)據(jù)表（MSDS）

 

Catalog Number （particles per mL）		Certified Peak Diameter	Expanded Uncertainty （of peak diameter）	Sie Distribution
3 x 108	1010			Std. Dev.	C.V.%	FWHM% *
PD-047	PD-047B	0.047 µm	0.002 µm	0.004 µm	7.5%	17.4%
PD-064	PD-064B	0.064 µm	0.002 µm	0.003 µm	5.4%	10.9%
PD-083	PD-083B	0.083 µm	0.002 µm	0.004 µm	4.2%	9.6%
PD-092	PD-092B	0.092 µm	0.005 µm	0.004 µm	4.6%	9.1%
PD-100	PD-100B	0.100 µm	0.005 µm	0.004 µm	2.6%	5.2%
PD-125	PD-125B	0.126 µm	0.006 µm	0.003 µm	2.4%	4.8%
PD-155	PD-155B	0.155 µm	0.003 µm	0.003 µm	1.6%	3.7%
PD-200	PD-200B	0.202 µm	0.005 µm	0.004 µm	1.8%	4.0%
PD-204	PD-204B	0.204 µm	0.008 µm	0.004 µm	1.8%	3.7%
PD-215	PD-215B	0.220 µm	0.007 µm	0.003 µm	1.6%	3.3%
PD-305	PD-305B	0.304 µm	0.005 µm	0.004 µm	1.4%	3.4%
PD-365	PD-365B	0.360 µm	0.013 µm	0.010 µm	2.0%	5.0%
PD-500	PD-500B	0.498 µm	0.010 µm	0.006 µm	1.1%	2.5%
PD-800	PD-800B	0.809 µm	0.014 µm	0.006 µm	0.8%	1.8%
PD-802	PD-802B	0.802 µm	0.011 µm	0.009 µm	1.1%	2.4%
PD1100	PD1100B	1.112 µm	0.018 µm	0.011 µm	1.0%	2.5%
PD1600		1.59 µm	0.02 µm	0.016 µm	1.0%	2.6%
PD2000		2.01 µm	0.04 µm	0.019 µm	1.0%	3.3%
PD3000		3.04 µm	0.06 µm	0.026 µm	0.9%	2.7%

 

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