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德國festo真空技術(shù)簡介上?,F(xiàn)貨
采用液氮(77K)或液控制冷的冷阱或檔板,能大幅度減少擴散泵的返流。這種低溫與真空相結(jié)合的形式,在真空獲得方面長期占主導(dǎo)地位,乞今還在沿用。
采用低溫泵可以獲得高抽速(103~104m/s)與高真空(10-9Pa以下),是干凈而連續(xù)的抽真空手段。在20K的低溫下,可以凝聚氖、氫和氨以外的其他任何氣體,使它們的蒸汽壓降到10-9Pa以下。如果凝聚上述三種氣體,并使其蒸氣壓降到10-9Pa以下,則必須達到下列的溫度條件:氖,T≈6K;氫,T≈2.5K;氦,T≈0.3K。若利用低溫吸附,可以在T≤4.2K時排氦,在T≤20K時排氫,在T≤77K時排氮。常用的吸氣劑有固態(tài)二氧化碳(深冷霜)、活性炭和分子篩等。采用低溫捕集可以束縛不凝性氣體(如在4.2K的低溫面上10-4PA的氫氣)在通入可凝氣體(例如氬),可形成混合凝聚物(AR-H2)而沉積。低溫吸氣是通過金屬薄膜的化學吸附而向金屬膜內(nèi)擴散化學性氣體,例如鈦對氫有較大的低溫吸氣能力。
采用低溫泵是建造大型環(huán)境模擬室的*方案。它是在原有80K的冷壁上,再加上一個T≤20k的氦氣冷卻低溫面,兩者組合起來就可以了。
用低溫吸附(例如用活性炭吸氣劑)維持低溫容器絕熱夾層的真空度,有力地促進了低溫液體的生產(chǎn)、儲存和應(yīng)用。
總之,低溫與真空兩者互相依托和互相促進,缺一不可,并形成一門邊緣學科---低溫真空學。
真空技術(shù)干燥的優(yōu)勢,比起常規(guī)干燥技術(shù)具備以下優(yōu)勢:
1、真空環(huán)境大大降低了需要驅(qū)除的液體的沸點,所以真空干燥可以輕松應(yīng)用于熱敏性物質(zhì)。
2、對于不容易干燥的樣品,例如粉末或其他顆粒狀樣品,使用真空干燥法可以有效縮短干燥時間。
3、各種構(gòu)造復(fù)雜的機械部件或其他多孔樣品經(jīng)過清洗后使用真空干燥法,*干燥后不留任何殘余物質(zhì)。
4、使用更安全----在真空或惰性條件下,*消除氧化物遇熱爆炸的可能。
5、與依靠空氣循環(huán)的普通干燥相比,粉末狀樣品不會被流動空氣吹動或移動。
控制特點:具有因停電,死機狀態(tài)數(shù)據(jù)丟失而保護的參數(shù)記憶,來電恢復(fù)功能。
性能特點:
1、采用國內(nèi)*流線圓弧型設(shè)計,外殼采用冷軋鋼板制造,表面靜電噴塑。
2、本機溫控系統(tǒng)采用微電腦單片機技術(shù),控溫,定時,超溫報警。
3、顯示為雙屏高亮度數(shù)碼管顯示,示值準確直觀,性能*,觸摸式按鍵設(shè)定調(diào)節(jié)參數(shù)。
4、溫控傳感器采用的是電容式*部件。
5、采用進口電機及風葉;具有定時和計時功能。
6、內(nèi)膽均為不銹鋼材料制成;半圓形四角易清潔。
7、本機箱門*松緊可由用戶任意調(diào)節(jié),整體成形的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。
8、本機工作室為長方體結(jié)構(gòu),使有效容積達到zui大,箱門采用鋼化、防彈雙層玻璃門,使觀察工作室培養(yǎng)物品能讓用戶一目了然。
真空技術(shù)的典型應(yīng)用:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)離不開真空技術(shù)。生產(chǎn)半導(dǎo)體元件:(1)要在硅片上摻入相應(yīng)的其他元素;(2)在生產(chǎn)集成電路時要形成復(fù)雜的金屬薄膜和絕緣膜;(3)要進行表面的刻蝕處理等復(fù)雜的工序。如果生產(chǎn)過程中的真空度不夠,表面上沾了灰塵或油滴之后會出現(xiàn)嚴重的后果。集成電路中細線的寬度是吸煙時吐出的煙霧顆粒直徑的1/3,是一?;覊m直徑的近萬分之一。對集成電路而言,哪怕落有一顆煙霧的顆粒,就好像大路上停了一架大型飛機一樣,使電子無法通過或造成短路。
新材料開發(fā)離不開真空。以分子束外延為代表的薄膜生長技術(shù)是新材料開發(fā)的重要手段,薄膜材料放到蒸發(fā)源中之后被蒸發(fā)或升華,在超高真空環(huán)境中,薄膜材料的原子或分子可以長距離飛行,到達襯底成膜;而且由于殘留氣體少,襯底表面形成的薄膜純度高。
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