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半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺/系統(tǒng)集成

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  • 品牌 北京華測
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
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更新時間:2023/08/28 13:16:54瀏覽次數(shù):2829

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產(chǎn)品簡介

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺/系統(tǒng)集成支持二極管、三極管、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測量,準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測量,時域測量等。

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺

功能:

可提供直流電壓/電流輸出,直流電壓/電流測量和交流信號輸出以及阻抗測量

主要技術(shù)指標(biāo):

探針臺:

1.探針臺主機(jī):卡盤XY運動范圍200mm*200mm,Z軸運動范圍25mm

2.絲桿軸承確保移動,分辨率3.5um

3.針座:精度0.7um

4.加熱臺: 溫度范圍室溫-400℃


半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺


半導(dǎo)體參數(shù)測試儀

1.直流I-V測試:

具有4路SMU,其中2路中等功率SMU,2路高分辨率SMU, 可同時測量電壓分辨率0.5μV、電流分辨率0.1fA

2.C-V測試:頻率1KHz-5MHz;偏置電壓:±25V;測量精度±0.2 %

3.可實現(xiàn)C-V和I-V測量間自動切換,不會影響測量精度

4.脈沖IV:

提供兩路快速IV/脈沖輸出,具有任意波形產(chǎn)生功能

脈沖寬度:50ns;脈沖電平范圍:-5V~+5V,+/-10V~0V (50 Ω負(fù)載);電壓測量精度:±0.1%讀值, ±0.1% 量程;電流測量精度:±0.1% 讀值, ± 0.2% 量程

主要用途

支持二極管、三極管、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測量,準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測量,時域測量等。

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺/系統(tǒng)集成

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