HORIBA S500熱式氣體質量流量計
HORIBA S500熱式質量流量計,氣體質量流量計,質量流量控制器
特點;
產品規(guī)格
型號 | S500 (規(guī)格Type AR111) | 外部密封 | 氟橡膠 | 接觸氣體材料 | SUS316L,氟橡膠,磁性不銹鋼 | 調節(jié)閥類型 | 非通電時常閉 | 滿量程流量(N2換算流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min 1,2,3,5,10,20,30 L/min | 流量控制范圍 | 2%~100%F.S. (0.1~5V DC) | 流量測量范圍 | 0~100%F.S. (0~5V DC) | 響應時間(輸出電壓) | 1秒 (保證 1.5秒以內T98) | 工作環(huán)境溫度 | 5~45℃ (精度保證 15~35℃) | 流量精度 | ±1.0%F.S. | 線性 | ±0.5%F.S. | 重復性 | ±0.2%F.S. | 工作壓差 | 10mL/min~5L/min :50~300kPa(d) 10L/min~30L/min :100~300kPa(d) | 大工作(使用)壓力 | 300kPa(G) | 耐壓 | 3MPa(G) | 泄漏率 | 1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下 | 流量設定信號 | 0.1~5VDC(2%~100%F.S.) | 流量輸出信號 | 0~5VDC(0%~100%F.S.) | 供電電源 | +15V±5% 100mA以下 -15V±5% 150mA以下 | 管路接頭 | 1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR | 安裝角度 | 任意 | 電氣接頭 | D-Sub 15pin | 輸入輸出阻抗 | 輸入:1MΩ以上 輸出:3mA以下 | 附加功能 | Auto-zero、Auto-close |
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**滿量程流量50mL/min一下的響應時間為2S以內 HORIBA S500熱式氣體質量流量計![](https://img69.chem17.com/e1fb45bff25aab0ec64958e6b60dda2f8376141877a01a0195188ad87356523ec50b5d30e07c42b4.jpg)