刻蝕機(jī)

 刻蝕機(jī)是一種用于電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器，于2012年5月14日啟用。

產(chǎn)品介紹

適合于8英寸及以下晶圓的單片刻蝕工藝
可選耐腐蝕PP柜體
可按客戶需求定制設(shè)備規(guī)格
全自動(dòng)擺臂、可配備多路刻蝕液
觸摸式人機(jī)交互界面,實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)
可選蝕刻液加熱控溫及FFU功能
專(zhuān)用排風(fēng)、排廢系統(tǒng)、提高設(shè)備的安全性

產(chǎn)品參數(shù)

旋轉(zhuǎn)速度范圍：0-3000rpm
加速度范圍：20-5000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度：±1rpm
刻蝕管路：≤2路(扇形或錐形噴嘴）
設(shè)備尺寸：1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)