產(chǎn)品特點：

•一射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

•可通過爐體滑動達到快速升溫和降溫；

•可通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應(yīng)力;

•可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計量；

•可沉積各種材料，如SiOx，SiNx，SiOxNy和(a-Si:H)等。

加熱爐參數(shù)：

•最高溫度：1100℃（<30min）：連續(xù)工作溫度：1000℃：

•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控瀝精度：±1℃；

•輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW：

•爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命

射頻電源：

真空系統(tǒng)：

•·采用TRP-12的雙旋真空泵；

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

•真空度可達10-2Torr。

供氣系統(tǒng)（可選）：

•客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;

•流量范圍：

•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸和重量：

•尺寸：1500mm L'600mm W^1200mm H

•·凈重：160 kg

•運輸重量：220 kg

質(zhì)保：

一年保質(zhì)期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件