美國康寧Corning Tropel Flatmaster 100平面度儀也稱為平面度測量儀、平整度儀、平坦度儀等，為精密部件的制造商提供了業(yè)界的平面度及表面形態(tài)測量。

通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)能在很短 的時(shí)間內(nèi)記錄下整個(gè)表面的數(shù)據(jù)。

Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級(jí)的解析度和高達(dá)50納米的標(biāo)準(zhǔn)精度，能夠快速和準(zhǔn)確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測量。

FM100美國康寧平面度測量系統(tǒng)技術(shù)特點(diǎn)及應(yīng)用領(lǐng)域：無接觸和無損傷測量
適用多種類型材料：半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
適用多種類型晶片：硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面

FlatMaster 100 平面度儀可測量技術(shù)參數(shù)： 
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓；

完整的平面度檢測和分析系統(tǒng)： 
三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度

FM100美國康寧平面度測量系統(tǒng)可測量多種不同指標(biāo)：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
完整的分析系統(tǒng)：
三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測量
超過15年的工業(yè)應(yīng)用，幾百臺(tái)的裝機(jī)量

 
技術(shù)參數(shù)：
重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
分辨率：5nm （0.2μ″）
可測量工件尺寸：5mm-100mm（更小工件也可提供）
動(dòng)態(tài)測量范圍：>50um
測量數(shù)據(jù)點(diǎn)：230,000百萬 / measurement
測量時(shí)間：5秒
電源：～220V 50Hz

美國康寧Flat master 100平面度測量系統(tǒng)應(yīng)用實(shí)例：
Tropel FlatMaster100能測量物件的zui大尺寸100mm?？蛻艋亩ㄖ颇軌驖M足不同用戶對動(dòng)態(tài)測量范圍、精度和功能部件等內(nèi)容的不同需求。
FlatMaster 100平面度測量設(shè)備采用激光干涉原理，一次性測試整個(gè)平面，同時(shí)獲取230,000個(gè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)，應(yīng)對產(chǎn)品表面的劃痕，沙眼，崩角，凹凸不平，毛刺等問題可以直觀的顯示在測量結(jié)果
中。
FlatMaster100配備由美國標(biāo)準(zhǔn)局NIST出具證書的可追溯的標(biāo)準(zhǔn)片，可隨時(shí)驗(yàn)證機(jī)器性能，使得測量數(shù)據(jù)更具備說服力與可靠性。
在您的工廠或車間里添加平面度測量儀能夠使制程、良率和生產(chǎn)率得到*的提升。