氫氣

氫氣純度

99.9995%

流速選項

100, 200, 300, 450cc/min

出氣壓力

0- 100psi/ 0- 6.9 bar

進水純度要求

電導(dǎo)率 < 1.0 μS-cm / 電阻率 > 1.0M Ω-cm 

氮氣

氮氣純度

99.9995%

碳氫化合物含量（以甲烷來計算）

<0.05ppm

流速選項

250, 600cc/min

出氣壓力

0-80psi

進氣要求

進氣壓力在 120-145psi 之間

零級空氣

碳氫化合物含量（以甲烷來計算）

<0.05ppm

顆粒

<0.01μm

流速選項

1,500, 3,500cc/min

出氣壓力

0-80psi

進氣要求

Minimum 1.5 or 3.5 l/min at 90-145psi

空壓機

為氮氣發(fā)生器和零級空氣發(fā)生器提供進口空