輪廓形狀測(cè)量?jī)x 返回列表頁(yè)

序號(hào)

說(shuō) 明

名   稱

數(shù)量

備注

1

主機(jī)

系統(tǒng)

1

主機(jī)

1

2

高精度直線導(dǎo)軌

1

3

立柱系統(tǒng)

1

4

傳感器-杠桿組

1

進(jìn)口光柵尺

1

6

驅(qū)動(dòng)盒

1

7

基礎(chǔ)平臺(tái)

1

8

XY精密工作臺(tái)面

1

9

采集控制系統(tǒng)

1

10

校正標(biāo)準(zhǔn)件

1

11

調(diào)整夾具

1

12

V型工裝

1

13

輪廓測(cè)針

1

14

手冊(cè)資料

1

2

計(jì)算機(jī)

系統(tǒng)

1

計(jì)算機(jī)

1

2

打印機(jī)

1

3

軟件

系統(tǒng)

1

基本軟件

WinXP系統(tǒng)下標(biāo)準(zhǔn)版測(cè)量軟件包

1

2

軟件

可為用戶定制開發(fā)測(cè)量軟件

選配

項(xiàng)目

主機(jī)

導(dǎo)軌精度

0.3μm /50mm

X向采樣步長(zhǎng)

1μm

X向光柵精度

0.5μm，全長(zhǎng)±1.5μm

X向有效測(cè)量長(zhǎng)度

60 mm

Z向量程

10mm

Z向有效精度比

1：32767 （量程10mm，有效精度0.3μm）

Z向zui高分辨率

0.001μm

放大倍率

實(shí)時(shí)放大，任意倍率

測(cè)量

范圍

承載

100Kg

內(nèi)徑

標(biāo)配測(cè)針zui小可測(cè)內(nèi)徑為20mm，更小需定制特殊測(cè)針及測(cè)桿

外徑

Ф200mm 可擴(kuò)展至Ф500mm

高度

200mm 可選配至500mm 更高需定制周期

Z向

400mm

測(cè)量方式

傳感器移動(dòng)式

測(cè)量速度

0.05mm/s,0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s 0.8mm/s,1mm/s,自定義，zui高3mm/s（電子調(diào)速8檔）