室溫半自動探針臺，高可靠性探針臺系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子， 電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMs，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

旨在預(yù)算與高測量可靠性之間尋求平衡點，該平臺配備高精度位移臺，可實現(xiàn)X、Y、Z、 R等方向自動調(diào)整，各移動軸可實現(xiàn)±0.005mm以下的精度定位，對陣列型測量特征可實現(xiàn)快速準(zhǔn)確的測量。經(jīng)濟(jì)實用，穩(wěn)定性強，可升級擴展，操作方便是本產(chǎn)品的核心價值，在各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛。