線性壓電納米位移臺(tái)MF40-25A，緊湊結(jié)構(gòu)支撐下的超大行程，軟件簡(jiǎn)單易用，亞納米級(jí)別開(kāi)環(huán)分變率，真空兼容可達(dá)10-5Pa。支持定制納米位移臺(tái)。

不同于傳統(tǒng)的微米級(jí)別行程，納米位移臺(tái)擁有超大運(yùn)動(dòng)行程。大運(yùn)動(dòng)行程可以替代傳統(tǒng)的大范圍運(yùn)動(dòng)加不范圍補(bǔ)償?shù)倪\(yùn)動(dòng)方案，從而使設(shè)計(jì) 結(jié)構(gòu)更加緊湊，運(yùn)動(dòng)控制更加簡(jiǎn)單。

納米位移臺(tái)配套操作簡(jiǎn)單，隨時(shí)調(diào)整XY軸觀測(cè)位置，電子屏顯示，實(shí)時(shí)反饋數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)定位準(zhǔn)確，且?guī)в懈呔燃案叻肿兟实奈恢梅答仭?/p>

• 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

△ 結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性

△ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

△ 室溫到液氦工作溫度，超高真空兼容

△ 壓電陶瓷促進(jìn)器具有超長(zhǎng)使用壽命

△ 帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制

• 產(chǎn)品應(yīng)用

電子顯微鏡原位納米探針臺(tái)，半導(dǎo)體芯片檢測(cè)，光刻機(jī)工件臺(tái)，微生物操縱手，光纖焊接，超精密組裝，精密檢測(cè)與測(cè)量。