勻膠機SmartCoater100系列

北京泰諾鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。。ｃｏｍ）專業(yè)生產(chǎn)銷售實驗儀器設備。EasyCoater和SmartCoater系列勻膠機、烤膠機、提拉鍍膜機、電解雙噴減薄儀、低溫恒溫設備等實驗室設備，公司技術(shù)力量雄厚、工藝裝備*、制造經(jīng)驗豐富、產(chǎn)品質(zhì)量可靠、售后服務周到，在信譽上深受用戶信賴。

SC100-SE勻膠機SmartCoater100系列高精密勻膠機主要性能指標：

主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

旋涂程序：zui多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）

旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復性< 1rpm

工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec

支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）

旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

SC100-SE勻膠機SmartCoater100系列高精密勻膠機 產(chǎn)品特性優(yōu)點：

的內(nèi)部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。

7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

on ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。

標準配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進行定制。

采用工業(yè)級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。

排風和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。

透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

SC100-SE高精密勻膠機產(chǎn)品外型尺寸：

　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結(jié)構(gòu)
　　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)

使用客戶：中科院半導體所南京大學上海理工大學南京郵電大學中科院物理所中國科學技術(shù)大學北京航天九院清華大學易美芯光（北京）科技有限公司等。

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  北京泰諾鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。。ｃｏｍ/）主要產(chǎn)品EasyCoater和SmartCoater系列勻膠機、烤膠機、提拉鍍膜機、電解雙噴減薄儀、低溫恒溫設備等。隨著生命科學行業(yè)的蓬勃發(fā)展，諾源儀器也將迎來新的機遇和挑戰(zhàn)，我們將一如既往地向著目標努力：致力于成為*的實驗室集成供應商。我司歡迎您的。

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