北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司

產(chǎn)品型號:KWD 臺式勻膠機

時間:2015-5-27閱讀:1494
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臺式勻膠機型號:KWD

臺式勻膠機:(Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。 

技術(shù)參數(shù):旋轉(zhuǎn)速度:200-2000rpm,精度:±0.5%
勻膠時間:3-60s可調(diào)
基材尺寸:Φ200-Φ600 200mm×200mm~500×500mm
適用材料: 硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP等多種材料

電機功率:320w
LED數(shù)字顯示:轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±0.5%,膠的均勻性:±5%
zui大加速度:zui高加速度:≥500rpm/sec
儀器尺寸:980mm×855mm×855mm

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