智能勻膠機(jī) 型號(hào)：SC-100
SC-100智能勻膠機(jī)主要適用于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃等工藝制版及表面涂覆，各種光刻膠表面膜制備。
系統(tǒng)配置高速變頻馬達(dá)，變頻控制涂膠轉(zhuǎn)速、時(shí)間，使整個(gè)涂膠過程精確，穩(wěn)定。
主要技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)支持10個(gè)工藝組存儲(chǔ)，每個(gè)工藝組可設(shè)置4段運(yùn)行速度及運(yùn)行時(shí)間
勻膠速度： 0～8000rmp可調(diào)
勻膠時(shí)間： 1～9999s任意時(shí)間可設(shè)置
旋轉(zhuǎn)加速度：0～12000rpm/sec 由低速到高速加速時(shí)間0.1s～0.5s
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1rmp
涂膠均勻性：±3%
可鍍膜尺寸：Ф5～Ф150mm（6〞）
基片厚度： ≤5mm
SC-100智能勻膠機(jī)
其 它 配 置設(shè)備配置Ф260mm接膠裝置（不銹鋼材質(zhì)）
電機(jī)額定功率90W，額定轉(zhuǎn)速8000rmp
真空系統(tǒng)：FY-1C真空泵一臺(tái)，抽氣速率60L/min(標(biāo)配)
AP-500V無油真空泵，抽氣速率100L/min（選配）
樣片托：隨機(jī)配1英寸一個(gè)，2英寸一個(gè)，其它規(guī)格尺寸按要求定做。
輸入電源： AC220V/240V 50HZ
機(jī)身尺寸： 280×360×240mm
機(jī)身重量：10Kg
在線銅離子監(jiān)控儀 型號(hào)：ISE-3000+ 技術(shù)規(guī)格
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