日立冷場發(fā)射掃描電鏡

日立冷場發(fā)射掃描電鏡

現(xiàn)有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。

通過優(yōu)化電子光學系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的優(yōu)良性能。

主要特點：
1. 配備加速電壓減速功能，優(yōu)良的低加速電壓成像能力，1kV分辨率可達1.1nm

2. 日立E×B技術(shù)，無需噴鍍，可直接觀測不導電樣品

3. 配備電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能

4. SE與BSE任意比例搭配功能

日立冷場發(fā)射掃描電鏡

應用領(lǐng)域：
1.納米材料
2.半導體器件
3.高分子材料
4.生物醫(yī)學
5.新能源