精度升級
量程為10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程（取最大值）
測量和控制范圍 0.1 ~ 100%滿量程
重復(fù)性 ± 0.1%滿量程
技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請參考?xì)怏w兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM
量程可控比（穩(wěn)態(tài)） 0.5% ~ 100%滿量程
最大顯示流量 高達128%滿量程（取決于氣體）
最大可控流量 102.4%滿量程
顯 示 屏 帶背光按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
精 度 ± 2%滿量程 精度升級見左下角
重 復(fù) 性 ± 0.2%滿量程
質(zhì)量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）
± 0.01%滿量程/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃（從25℃開始）
± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）
控制響應(yīng)時間（T63） 優(yōu)于100 ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）
顯示響應(yīng)時間 ＜10 ms（與流量相關(guān)）
預(yù)熱時間 ＜1s
默認(rèn)標(biāo)況（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ~ 95%
最大工作壓力 320 PSI 絕壓
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40Hz@19200波特率；模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、
EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 12 - 24 VDC
供電電流 0.250 -1A（+40 mA，對于4-20 mA輸出）
電氣接口 DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12等
泄漏率（外漏） 選擇HLCP選項，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He
材 質(zhì) 302，303，304,316L，430,410不銹鋼、FKM氟橡膠、陶瓷、
硅橡膠、聚酰胺、環(huán)氧樹脂、金、銅、硅、玻璃。
過程連接 詳情參考壓損表
安裝位置 小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝
防護等級 IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
包裝清單
● MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
● NIST可溯源校準(zhǔn)證書
● 艾里卡特操作說明書
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