美國ALICAT 01系列質(zhì)量流量控制器,采用了熱帖片式原理,而且克服了熱式對于預熱時間的要求,01系列的預熱時間僅需要70ms,且保證了流量控制的穩(wěn)定性和精確度。01系列測量和控制范圍高達0.5 ~ 100%,可以滿足更多的客戶流量控制應用場合。
材質(zhì)上,01系列采用了316不銹鋼主體,F(xiàn)KM密封,并具備較強的抗振動性能。使用上,配備了RS-485及0-5 VDC通過9針的工業(yè)插頭可輕松實現(xiàn)數(shù)字、模擬信號的測控。維護上影響設備壽命與精度的是被測氣體的品質(zhì),該系列設計用于測控潔凈、干燥、無腐蝕性的氣體。儀器無需定期清潔。如有必要,用柔軟的干抹布擦拭設備外部即可。
技術指標
介質(zhì)要求 潔凈、干燥、無腐蝕性氣體
介質(zhì)種類 每臺設備只能選擇A,B,C其中一種
A:空氣(AIR)、氬氣(Ar)、二氧化碳(CO2)、氮氣(N2)、
氧氣(O2)、一氧化二氮(N2O),可通過數(shù)字方式切換
B:氦氣(He);
C:氫氣(H2),其他氣體需咨詢
量 程 0-100 SCCM ,0-1000 SCCM, 0-20 SLPM,0- 50 SLPM
(注:選擇CO2和N2O后量程降低為原來的75%)
測量和控制范圍 1 ~ 100%滿量程 (0-100 SCCM)
0.5 ~ 100%滿量程
(0-1000 SCCM、0-20 SLPM、0-50 SLPM)
精 度 ±(1.5 % 讀數(shù) + 0.5 % 滿量程)
重 復 性 ± 0.5 % 讀數(shù)
質(zhì)量流量溫度漂移 ± 0.2 % 滿量程 / ℃
時間漂移 0.05%滿量程/年
累計流量精度:標準精度額外增加±2%讀數(shù)
響應時間 優(yōu)于100 ms
預熱時間 70 ms
默認標準狀況(STP) 25℃ & 1Atm(其它標況可定制)
工作溫度 0 ~ 50℃ 工作濕度 < 90 %,無冷凝
最大工作壓力 0-100 SCCM、0-1000 SCCM、0-50SLPM為145PSIG
0-20 SLPM為60 PSIG
耐 壓 175 PSIG
數(shù)字輸入/輸出信號 RS485或RS232,Modbus RTU協(xié)議
模擬輸入/輸出信號 0 - 5 VDC或4 - 20 mA
模擬信號刷新頻率 400 Hz
供電電壓 10-30 VDC
供電電流 200 mA
泄 漏 率 閥門泄露:10-5 Atm cc/sec He ,外漏:10-9 Atm cc/sec He
材 質(zhì) 主體材質(zhì): 316不銹鋼
閥體材質(zhì):黃銅,302,303,430FR不銹鋼
密封材質(zhì):FKM(Viton);傳 感 器:氮化硅
過程連接 NPT或SAE內(nèi)螺紋
振 動 20g;MIL-STD-883E,Method 2002.4
安裝方式 對位置無要求
閥門類型:常閉
防護等級 IP40
認 證 CE、RoHS、REACH