 | 北京中精儀科技有限公司 |
10 |
| 參考價(jià) | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn) |
更新時(shí)間：2024/09/23 09:08:59瀏覽次數(shù)：3203
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,冶金,航天,汽車 |
|---|
美國SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD應(yīng)用
● 多元素復(fù)合氧化物
● 高溫超導(dǎo)材料
● 磁性材料、金屬材料
● 低蒸汽壓材料
● MEMS
基本系統(tǒng)
腔室及真空泵
12’’ 快速門，250l/s 分子泵，全量程規(guī)
沉積源
靶臺，6X1’’(25mm) 靶，可以水平旋轉(zhuǎn)，可Z方向移動
樣品臺
1’’(25mm)大小，可加熱至800oC（1000oC可選），可水平旋轉(zhuǎn)，可Z方向移動
在線工藝監(jiān)控
石英晶振沉積速率監(jiān)控儀
自動化
自動化裝置：
控制樣品溫度和旋轉(zhuǎn)
靶臺的位置控制
靶臺旋轉(zhuǎn)
氣體控制
速率及厚度計(jì)算（利用QCM輸出）
激光束掃描（可選）
激光束屏蔽控制
自動泵抽和充氣
差分泵抽結(jié)構(gòu)
RHEED分析（可選）
裝載室壓強(qiáng)監(jiān)控（可選）
美國SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD主要特點(diǎn)
RF射頻等離子源(氧，氮)
升級高真空
增加進(jìn)樣室
升級為Laser-MBE （L-MBE）系統(tǒng)
自動軟件控制
提供更潔凈的薄膜生長環(huán)境,控制解決方案
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
化工儀器網(wǎng)