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北京中科博達(dá)儀器科技有限公司
主營產(chǎn)品： 北京紫外光老化試驗(yàn)箱,小型紫外光老化試驗(yàn)箱 |
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BD/HMDS-6210HMDS預(yù)處理真空烘箱
| 參考價 | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 型號 BD/HMDS-6210
- 品牌 中科博達(dá)
- 廠商性質(zhì) 其他
- 所在地 北京市
更新時間：2024-12-12 17:06:26瀏覽次數(shù)：3796
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【簡單介紹】
HMDS預(yù)處理真空烘箱主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | PID |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 15萬-20萬 | 內(nèi)膽材質(zhì) | 316L |
| 內(nèi)膽尺寸 | 560×640×600cm | 外形尺寸 | 560×640×600mm |
| 溫度波動 | ±1℃℃ | 溫度范圍 | RT+10～250℃ ℃ |
| 儀器種類 | 真空烘箱 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
HMDS預(yù)處理真空烘箱
產(chǎn)品用途:該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
型號：BD/HMDS-6090內(nèi)形尺寸：450×450×450
型號：BD/HMDS-6210內(nèi)形尺寸：560×640×600
二、技術(shù)參數(shù)：
1、控溫范圍：RT+10～250℃
2、溫度分辨率：0.1℃
3、溫度波動度：±1℃
4、達(dá)到真空度：小于133Pa
5、真空度：100Pa～100000Pa
6、定時范圍：1～9999min
7、工作室材料：316L
8、樣品架：2塊、3塊
9、真空泵：4L/S
10、電源電壓：220V/50Hz、380V/50Hz三相五線制
11、總功率：3000W、4500W
三、產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑。內(nèi)膽、樣品機(jī)、連接管路均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。
2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。
3、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。
四、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)操作流程：
1、首先確定烘箱工作溫度；
2、預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)?，充到達(dá)到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分;
3、再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng);
4、當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個作業(yè)過程。
五、控制系統(tǒng)：
1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏，三菱PLC控制器；
2、富士微電腦雙數(shù)顯溫度PID控制器，控溫精que可靠；
六、保護(hù)系統(tǒng)：
1、漏電保護(hù)；
2、超溫保護(hù)；
3、缺液保護(hù)；
七、設(shè)備使用條件：
1、環(huán)境溫度：5℃～＋28℃（24小時內(nèi)平均溫度≤28℃）
2、環(huán)境濕度：≤85%R.H
3、操作環(huán)境需要室內(nèi)通風(fēng)良好,機(jī)器放置前后左右各80公分不可放置東西;
八、HMDS預(yù)處理真空烘箱服務(wù)承諾：
保修十八個月，免費(fèi)送貨上門,在對該設(shè)備安裝調(diào)試結(jié)束后,在用戶現(xiàn)場對相關(guān)技術(shù)人員免費(fèi)做相應(yīng)的操作培訓(xùn),人數(shù)不限
北京中科博達(dá)儀器有限公司產(chǎn)品系列:高溫試驗(yàn)箱、低溫試驗(yàn)箱、恒溫恒濕試驗(yàn)箱、低溫恒溫試驗(yàn)箱、高低溫試驗(yàn)箱、交變高低溫試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)箱、交變高低溫濕熱試驗(yàn)箱、鹽霧腐蝕試驗(yàn)箱、二氧化硫試驗(yàn)箱、鼓風(fēng)干燥箱、高溫烘箱、真空干燥箱、溫度沖擊試驗(yàn)箱、紫外光老化試驗(yàn)箱、氙弧燈耐氣候試驗(yàn)箱、臭氧老化試驗(yàn)箱、換氣老化試驗(yàn)箱、沙塵試驗(yàn)箱、淋雨試驗(yàn)箱、擺管淋雨試驗(yàn)設(shè)備、滴水試驗(yàn)設(shè)備、振動臺、振動試驗(yàn)機(jī)、二氧化碳培養(yǎng)箱、霉菌培養(yǎng)箱、熱空氣消毒箱、低溫培養(yǎng)箱、藥品穩(wěn)定試驗(yàn)箱、防銹油脂試驗(yàn)箱、大型鹽霧試驗(yàn)室、大型低溫恒溫試驗(yàn)室、大型高低溫檢測試驗(yàn)室。
產(chǎn)品用途:該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
型號：BD/HMDS-6090內(nèi)形尺寸：450×450×450
型號：BD/HMDS-6210內(nèi)形尺寸：560×640×600
二、技術(shù)參數(shù)：
1、控溫范圍：RT+10～250℃
2、溫度分辨率：0.1℃
3、溫度波動度：±1℃
4、達(dá)到真空度：小于133Pa
5、真空度：100Pa～100000Pa
6、定時范圍：1～9999min
7、工作室材料：316L
8、樣品架：2塊、3塊
9、真空泵：4L/S
10、電源電壓：220V/50Hz、380V/50Hz三相五線制
11、總功率：3000W、4500W
三、產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑。內(nèi)膽、樣品機(jī)、連接管路均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。
2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。
3、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。
四、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)操作流程：
1、首先確定烘箱工作溫度；
2、預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)?，充到達(dá)到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分;
3、再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng);
4、當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個作業(yè)過程。
五、控制系統(tǒng)：
1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏，三菱PLC控制器；
2、富士微電腦雙數(shù)顯溫度PID控制器，控溫精que可靠；
六、保護(hù)系統(tǒng)：
1、漏電保護(hù)；
2、超溫保護(hù)；
3、缺液保護(hù)；
七、設(shè)備使用條件：
1、環(huán)境溫度：5℃～＋28℃（24小時內(nèi)平均溫度≤28℃）
2、環(huán)境濕度：≤85%R.H
3、操作環(huán)境需要室內(nèi)通風(fēng)良好,機(jī)器放置前后左右各80公分不可放置東西;
八、HMDS預(yù)處理真空烘箱服務(wù)承諾：
保修十八個月，免費(fèi)送貨上門,在對該設(shè)備安裝調(diào)試結(jié)束后,在用戶現(xiàn)場對相關(guān)技術(shù)人員免費(fèi)做相應(yīng)的操作培訓(xùn),人數(shù)不限
北京中科博達(dá)儀器有限公司產(chǎn)品系列:高溫試驗(yàn)箱、低溫試驗(yàn)箱、恒溫恒濕試驗(yàn)箱、低溫恒溫試驗(yàn)箱、高低溫試驗(yàn)箱、交變高低溫試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)箱、交變高低溫濕熱試驗(yàn)箱、鹽霧腐蝕試驗(yàn)箱、二氧化硫試驗(yàn)箱、鼓風(fēng)干燥箱、高溫烘箱、真空干燥箱、溫度沖擊試驗(yàn)箱、紫外光老化試驗(yàn)箱、氙弧燈耐氣候試驗(yàn)箱、臭氧老化試驗(yàn)箱、換氣老化試驗(yàn)箱、沙塵試驗(yàn)箱、淋雨試驗(yàn)箱、擺管淋雨試驗(yàn)設(shè)備、滴水試驗(yàn)設(shè)備、振動臺、振動試驗(yàn)機(jī)、二氧化碳培養(yǎng)箱、霉菌培養(yǎng)箱、熱空氣消毒箱、低溫培養(yǎng)箱、藥品穩(wěn)定試驗(yàn)箱、防銹油脂試驗(yàn)箱、大型鹽霧試驗(yàn)室、大型低溫恒溫試驗(yàn)室、大型高低溫檢測試驗(yàn)室。
