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德國LEYBOLD萊寶真空泵SV65B特征及用途

2018-8-29 閱讀(980)

  德國LEYBOLD萊寶真空泵SV65B特征及用途
  主要特點有:
  1、*的排除水蒸氣的能力。
  2、出口油霧過濾器為標(biāo)準(zhǔn)配置,真空泵油循環(huán)使用,無油煙,清潔、環(huán)保、省油。
  3、可以在進(jìn)口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
  4、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。
  5、內(nèi)置自動防返油閥。
  6、SV630以下為風(fēng)冷,不需要水冷,經(jīng)濟(jì)方便。
  7、低噪音,低振動。
  8、結(jié)構(gòu)緊湊,體型小,節(jié)省空間。
  9、可以與各種附件配套使用,因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要。


 德國LEYBOLD萊寶真空泵SV65B特征及用途
  低溫冷凝泵是目前所有的真空泵中抽速大、工作壓強(qiáng)范圍寬、極限真空度高(氣氦制冷機(jī)低溫冷凝泵可以達(dá)到10-10Pa,液氦型低溫冷凝泵可以達(dá)到10-13Pa)的真空泵,而且可以抽除所有氣體,能獲得全無油清潔真空。由于具有這些突出的優(yōu)點,氣氦制冷機(jī)低溫冷凝泵在需要大抽速、超高清潔真空的半導(dǎo)體、新型顯示器件及其他高科技研究和產(chǎn)業(yè)中獲得了Et益廣泛的應(yīng)用。低溫冷凝泵的缺點是價格很高,運行中需要再生而不能長期連續(xù)抽氣。
  擴(kuò)散泵系統(tǒng)是比較常用的高真空系統(tǒng),一般可以獲得10-1~10-5Pa的工作真空,使用特別設(shè)計的擴(kuò)散泵及采用性能良好的擴(kuò)散泵油,再在泵的人口端使用擋油板和液氮冷阱,加以充分的烘烤除氣措施,可以獲得10-7Pa的極限真空。擴(kuò)散泵系統(tǒng)的特點是對各種氣體都能抽除,適宜長時間連續(xù)工作,擴(kuò)散泵沒有噪聲,價格比較低。缺點是開啟或停止系統(tǒng)工作很耗時,工作效率低,油污染嚴(yán)重。
  用機(jī)械泵作為前級泵的渦輪分子泵系統(tǒng),是目前常用的高真空系統(tǒng),有取代擴(kuò)散泵系統(tǒng)的趨勢。分子泵系統(tǒng)可以獲得10-1~10-6Pa的工作真空,可達(dá)到lO-8Pa的極限壓強(qiáng)。分子泵系統(tǒng)的優(yōu)點:對各種氣體的抽速差別不大,起動快、油污染很輕,稱之為半無油系統(tǒng);能耗較低,容易做到自動控制。缺點:價格較高,顆粒物落人泵內(nèi)容易損壞。適用于要求油污染少且連續(xù)排除中等流量氣體的場合。
 德國LEYBOLD萊寶真空泵SV65B特征及用途
  建立全無油的超高真空系統(tǒng),可以采用濺射離子泵和低溫吸附泵組成的系統(tǒng)。這種系統(tǒng)可以獲得10-3~10-9Pa的清潔真空,主要殘余氣體是H2。但這種配置由于吸附泵的排氣量有限,起動不方便,不適用于抽除氣體量大和頻繁起動的場合。如果用機(jī)械泵串聯(lián)擋油吸附阱代替吸附泵,可以克服吸附泵排氣量小的缺點,但代價是喪失了全無油的優(yōu)點。濺射離子泵系統(tǒng)的缺點是對惰性氣體的抽速很小,不適用于抽除以惰性氣體為主的負(fù)載氣體,另外其價格也較高。
  鈦升華泵的特點是極限真空度高,可以達(dá)到10-9Pa,文章由廣州澤德水泵整理對活性氣體的抽速很大,但對惰性氣體的抽速為零,因此它不適用于作為經(jīng)常要排除空氣的真空系統(tǒng)的主泵,而適于在擴(kuò)散泵、分子泵、濺射離子泵系統(tǒng)中作為提高極限真空度的輔助泵使用。



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